DIAVAC大亚真空HV系列高真空挡板阀

HV 系列是扩散泵专用气动挡板阀，定位：腔体 ↔ 扩散泵之间主隔离阀，日系传统油扩散泵镀膜机标配；阀板内置挡板结构，自带防油返流屏障，这是 HV 和 BV、LCAV *核心区别。

重要定位区分

• BV：波纹管直通阀，洁净管路隔离，无防油挡板；
• LCAV/LAV-K：角阀，适合粗抽、中真空管路；
• HV 挡板阀：专为扩散泵设计，阀板集成挡油结构，抑制扩散泵油蒸汽返流腔体。

一、全型号参数一览表（DIAVAC HV 标准系列）

表格

二、通用基础规格

1. 阀体材质：SUS304 不锈钢
2. 标准密封：FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（腐蚀工艺气体）
3. 适用真空区间：1×10⁵ Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa（粗真空～高真空）
4. 驱动形式：单作用气动、弹簧复位（失气自动关闭，**联锁）
5. 结构核心亮点 阀板自带屏蔽挡板，阀门关闭时形成屏障，大幅阻挡扩散泵油蒸汽逆向扩散进入腔体，降低膜层污染；普通阀门无此结构。
6. *高使用温度：70℃（FKM 密封，不支持高温烘烤）
7. 使用寿命：常温 ≥80 万次启闭
8. 可选配件 磁性限位开关（阀门开 / 闭信号反馈，对接 PC-3DA / CT-3DA 真空计、PLC 时序联锁）

三、外观特征（全网缺少高清实拍，文字方便核对实物）

1. L 型 90° 角式挡板结构；下端法兰接扩散泵，水平法兰接腔体；
2. 顶部直立安装气动气缸；
3. 阀体腔体内部可见圆形挡油阀板（区别普通 LCAV 角阀内部光滑阀座）；
4. 阀体刻印 DIAVAC HV-XX Made in Japan；
5. 体积比同通径 LCAV 更大、腔体更深，内部容纳挡油结构。

四、运用场景

1. 光学镀膜、电子束蒸发设备（*主流）

油扩散泵入口主隔离阀。工艺结束、腔体破**关闭 HV 阀，双重阻隔扩散泵油返流； 标准成套：HV-50 + PC-3DA 组合真空计 + AV-25-A 放气阀。

2. 电阻蒸发、小型多层膜镀膜机

传统日系蒸发设备原厂标配阀；替代改造** HV 系列，匹配原有扩散泵管路。

3. 科研高真空扩散泵实验腔体

保护样品不受泵油污染；搭配 CT-3DA 冷阴极真空计监测高真空区间。

4. 真空热处理、真空钎焊（扩散泵机组）

高真空主切断，停机隔离腔体与泵体，减少长期静置油返流。

五、经典系统管路搭配方案

标准扩散泵真空机组 腔体 → HV 挡板阀（主阀）→ 扩散泵 → BV 波纹管阀（扩散泵前级隔离）→ 旋片干泵粗抽管路 粗抽支路：LCAV-40 粗抽阀 + PSG-1 皮拉尼规 监测：PC-3DA 真空计实现压力联锁，压力达标自动开启 HV 阀。