DIAVAC 大亚真空TRD-10 压电隔膜真空计
定位：粗真空区间高精度**压力监测，常与 3DA 系列、TR 系列其他真空规搭配使用。

一、全部型号完整参数

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通用规格（两款一致）

1. 测量方式：压电式隔膜、非加热
2. 供电：DC14～26V，功耗 0.65W
3. 信号输出
   • 模拟：DC 0～10V
   • 数字：RS-485（两线半双工）
4. 接气材质：SUS316L（耐腐蚀优于 SUS304）
5. 防护等级：IP40
6. 工作温度：0～50℃
7. 响应速度：＜100ms
8. 适用真空区间：大气压 → 100 Pa（粗真空）
9. 配套显示器：DGC-A12（单通道）、DGC-A31（3 通道）
10. 电气接头：14pin 圆形连接器

二、核心产品特点

1. 气体种类无关 氮气、氩气、水蒸气、工艺混合气体测量数值不变；皮拉尼规（PSG-1/TRP）气体不同读数偏差很大，这是 TRD-10 *大优势。
2. 两段温度补偿，宽温环境测量稳定
3. 内部无对置电极，室外 / 设备舱外气压波动几乎不影响测量
4. 无灯丝、无加热丝，寿命长，不怕水汽，不易烧毁
5. VCR 金属密封接口，泄漏率低，适合洁净真空管路

三、运用场景

1. 镀膜设备粗抽管路精准监测

腔体预抽阶段（数百 Pa～10kPa 区间）；搭配 PC-3DA/PT-3DA 做双规组合 方案：TRD-10（0～13.3kPa）+ PSG-1 皮拉尼（10⁵～0.1Pa），覆盖全程压力。

2. 真空烘箱、锂电池真空干燥、真空脱泡

含有大量水蒸气工况；皮拉尼容易漂移，TRD-10 测量稳定。

3. 真空浸渍、树脂脱气、冷冻干燥设备

工艺需要**控制粗真空压力，对气体成分不敏感。

4. 科研真空腔体、真空检漏前置管路

粗抽压力精准标定；用于校准皮拉尼真空计。

5. 半导体小型制程、工艺气体腔体粗真空监测

SUS316L 接气部，耐受轻度腐蚀性工艺气体。

四、选型建议

1. 只监测粗抽、预抽段，压力不超过 13kPa → TRD-10-P12NC（*常用）
2. 需要监测接近大气压、常压区间 → TRD-10-P13NC

五、TRD-10 VS 皮拉尼规（PSG-1 / TRP）关键区分

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六、使用限制 ⚠️

1. 无法测量低于 100Pa 真空，高真空区间不能单独使用，必须搭配皮拉尼 / 电离规；
2. 接口标准为 1/4VCR，如需 KF/NW 法兰，必须加装转接座；
3. 禁止大量粉尘直接冲击隔膜，前端建议加装小型过滤器；
4. 不能承受强等离子、浓卤素长期腐蚀（强腐蚀工况建议 Kalrez 前置密封组件）。