DIAVAC 大亚真空TRPC-21复合真空计
产品定位：一体式探头型复合真空计（替代分体式 PC-3DA+PSG-1+C-4A 组合） 前一代型号 TRPC-10 / TRPC-20，TRPC-21 为 2023 升级换代型号；内置皮拉尼（TRP）+ 逆磁控冷阴极（TRC）双传感单元，单支探头实现大气压→高真空全域测量。

一、全部型号（法兰区分）

表格

二、核心标准参数

1. 测量原理 皮拉尼（定温式）+ 逆磁控冷阴极电离规（CCG）自动切换
2. 测量量程 1×10⁵ Pa（大气压）～ 5×10⁻⁷ Pa 切换区间：约 0.5Pa 自动切换（皮拉尼→冷阴极）
3. 测量精度（氮气、23℃）

• 5×10⁻⁷ ～ 1×10⁴ Pa：±30%FS
• 1×10⁴ ～ 1×10⁵ Pa：±50%FS

4. 供电 DC15～30V（标称 DC24V）
5. 信号接口 15pin D-SUB（升级改动，旧款 TRPC-20 为圆形 10pin）
6. 输出信号

• 模拟：DC0～10V（对数输出）
• 数字：RS485 通讯
• 2 组独立设定点继电器输出（对比老款仅 1 组）

7. 接触介质材质 SUS316L 不锈钢
8. 关键新增功能【TRPC-21 独有】 ✅ 防误放电保护机能 腔体压力突升、大气冲入时，自动切断冷阴极高压，避免电极烧蚀，大幅延长冷阴极寿命（老款 TRPC20 无此功能）
9. 外形尺寸 Φ64mm × 114mm；净重约 360g
10. 可选配套显示器：DGC-A12（单通道数字显示仪表）

三、TRPC-21 核心优势

1. 一体化单探头，只需要一路真空接口，减少管路 T 接头、泄漏点；
2. 冷阴极无灯丝，对比热阴极电离规不怕短时冲击；搭配防放电保护，适合频繁破空工况；
3. 内置智能平滑切换，高低真空切换无读数跳变；
4. 自带两路控制点，可直接联锁阀门（HV 主阀、粗抽阀时序）；
5. 同时兼容传统模拟采集与 RS485 工控总线；

五、运用场景

1. 光学蒸发、电子束蒸发镀膜设备（主力场景）

搭配 DPF-Z / DPA 扩散泵机组；一支探头监测全程真空，控制 HV 挡板阀、粗抽阀时序； 优势：减少真空接头，降低漏率风险，冷阴极防冲击保护适配频繁开盖工艺。

2. 中小型磁控溅射、PVD 薄膜设备

腔体全程真空监测，粗抽→高真空连续采集；可联动 AV 放气阀实现自动泄压。

3. 科研高真空腔体、样品预处理平台

小型真空实验台**，替代两支独立规管，管路布局简洁。

4. 锂电池真空干燥、真空浸渍设备

粗真空至高真空连续监控，配合前级泵 + 扩散泵机组。

5. 半导体中小型制程腔体（ICF70 型号）

洁净工艺、要求金属密封、可轻度烘烤工况选用 TRPC-21-C70。