DIAVAC 大亚真空磁控管式冷阴极真空计
TRC-21 为独立高真空专用冷阴极电离规（CCG / 逆磁控管型），只负责高真空区间测量；必须搭配皮拉尼规（TRP 系列）组成整套系统，不可单独全程测量；无热灯丝，对比热阴极电离规抗冲击、寿命更长。

区分重点：

• TRC-21：单一冷阴极探头，量程 5×10⁻⁷～1 Pa，仅测高真空；
• TRPC-21：复合探头 = TRP 皮拉尼 + TRC 冷阴极集成一体，大气压至高真空全覆盖。

一、型号阵容

表格

二、通用技术参数

1. 测量原理：逆磁控管式冷阴极放电
2. 测量量程：5.0×10⁻⁷ Pa ～ 1 Pa
3. 精度（氮气、23℃）：±30%FS
4. 供电：DC15～30V，额定功耗 3W
5. 电气接口：15pin D-SUB
6. 信号输出

• 模拟输出：DC 0～10V 对数输出（2 种模式可选）
• 数字通讯：RS485 两线半双工
• 2 路独立设定点（SP）晶体管开关输出，可直接联锁阀门、泵加热回路

7. 核心机能：传感器保护功能 压力＞1Pa 时自动切断高压放电，防止腔体突然进气造成电极腐蚀烧损，大幅延长电极寿命
8. 介质接触材质：SUS316L 不锈钢
9. 工作温度：5～55℃；防护等级 IP40；净重约 340g
10. 耐压上限：200kPa（绝压）

三、核心产品特点

1. 无加热灯丝，不存在灯丝烧断问题，对比 TRI 热阴极电离规更适合频繁破空工况；
2. 内置磁场优化结构，在 0.5～1Pa 区间放电稳定性优于老款 TRC-10/TRC-20；
3. 两路设定点，可设置双阈值：例如高真空达标开启工艺、真空恶化报警；
4. 支持远程开启 / 关闭测量高压，方便程序时序控制；
5. 传感单元可单独拆卸清洗维护。