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NAGANO KEIKI长野计器 设备集成的压力传感器
产品型号:KP11
产品简介:

长野计器半导体赛道全部以压力测量为核心,主打高纯工艺气体、超纯水、湿法药液、洁净室微差压监测,广泛配套气体面板 / Gas Box、刻蚀、薄膜沉积、清洗、扩散炉、晶圆设备、FFU;接口主流 1/4" VCR,提供 UC/EP/BA/GP洁净等级(UC 高洁净,高纯气*)。

详细介绍
NAGANO KEIKI长野计器 设备集成的压力传感器

KP11是一款隔膜式压力传感器,其隔膜(即压力接收部分)采用SUS316L不锈钢材质。
由于与不锈钢流体接触,因此它适用于多种介质,广泛应用于需要低压和**压力测量的各种行业。

特征

- 内置放大器
,尺寸紧凑,可集成到设备中
,压力接收部分采用SUS316L材料
,支持20kPa至200kPa的压力范围,也支持**压力范围。

KP11 为设备内置组装型隔膜式压力传感器,膜片 SUS316L,内置信号放大电路;体积小巧(约 φ26mm,重量≈25g),主打低压、绝压测量,3 线制比率输出,多用于设备 OEM 集成。

二、核心通用规格

项目 参数
测量原理 硅压阻隔膜式,硅油填充
接液材质 SUS316L(膜片)
输出信号 0.1~0.9 Vcc 比率输出(3 线式)
供电电压 (Vcc) 5.0 V DC(标准)
精度 ±0.5 %F.S.(23±2℃)
温度漂移 ±0.05 % F.S./℃(零点 + 量程综合)
响应时间 ≤10 ms
工作温度 -20℃~+80℃(无结冰、无结露)
补偿温度区间 0~50℃
保存温度 -25℃~+85℃
绝缘耐压 500V AC 60s;绝缘电阻≥100MΩ(50VDC)
适用介质 不腐蚀 SUS316L 的气体、洁净液体
电气引出 自带短线 + 小型连接器端子(OEM 内置)
重量 约 25g