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NAGANO KEIKI长野计器 低压氢气压力传感器
产品型号:EH15
产品简介:

长野计器半导体赛道全部以压力测量为核心,主打高纯工艺气体、超纯水、湿法药液、洁净室微差压监测,广泛配套气体面板 / Gas Box、刻蚀、薄膜沉积、清洗、扩散炉、晶圆设备、FFU;接口主流 1/4" VCR,提供 UC/EP/BA/GP洁净等级(UC 高洁净,高纯气*)。

详细介绍
NAGANO KEIKI长野计器 低压氢气压力传感器
该压力传感器主要用于测量 1 MPa 或更低的低压氢气,可用于氢气生产、储存(压力积累)和燃料电池系统等应用。
认证标准: ico_ce ico_ukca ico_rohs

特征

精度:±0.25%FS。
压力传感器和接头采用焊接连接。
**可靠的设计,无需密封液。
无油无水处理(标准配置)。

普通 EH15(硅油填充隔膜)**不能测氢气!氢气必须选用后缀【H 氢气专用规格】 普通型号内部填充硅油,氢气会渗透硅油、污染气路,存在**隐患;EH15-H 氢气型为无封入液(无硅油)气相沉积半导体膜片结构,禁油处理,专为≤1MPa 低压氢气开发

一、核心结构与氢气专属特性

  1. 无硅油填充(非隔膜充油结构) 半导体蒸着式 SUS316L 膜片,内部不填充硅油,杜绝氢气渗透污染、油气混合风险。
  2. 全接液 SUS316L 膜片 + 过程接头一体激光焊接,抗氢脆,兼容高纯氢气、氨气。
  3. 标准禁油 / 脱脂处理 氢气工况标配禁油清洗,满足高纯气路规范。
  4. 侧面外置零点微调旋钮,现场校准便捷
  5. 可选多种电气接头,支持设备 OEM 与现场机柜安装

二、通用技术参数(EH15-H 氢气版)

表格

项目 规格参数
测量原理 气相沉积半导体应变片(无硅油)
精度 ±0.25 % F.S.(23±2℃,线性 + 滞后 + 重复性)
温度漂移 ±0.05 % FS/℃(零点 + 量程综合)
供电电压 DC 12~36V
输出信号 2 线 4~20mA(主流);3 线 1~5V DC
负载电阻 4~20mA ≤500Ω;电压输出 ≥10kΩ
响应时间 ≤2 ms
工作温度 -30℃ ~ +80℃(无结露、无结冰)
保存温度 -40℃ ~ +90℃
防护等级 IP65(带大气平衡孔)
绝缘耐压 500V AC 1min;绝缘电阻≥100MΩ
重量 M12 连接器型≈150g;端子箱型≈400g
接液材质 膜片、接头 SUS316L
允许介质 高纯氢气、氨气、不腐蚀 316L 中性气体

H15-H 氢气专用标准量程(≤1MPa 低压系列)

氢气机型标准量程(表压 Gauge,绝压可定制)

  1. 0~0.1 MPa(100kPa)
  2. 0~0.3 MPa
  3. 0~0.5 MPa
  4. 0~1.0 MPa

补充:真空 / 微负压量程(氢气吹扫、循环管路)可单独向厂商询价定制;氢气版无高于 1MPa 标准型号,高压氢气需选用长野其他系列