欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > CKD喜开理 > 电磁阀
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
日本进口CKD高真空用电磁阀
产品型号:HVB312
产品简介:

密封力和真空保持力强,适用于高真空的直动式电磁阀。

详细介绍
日本进口CKD高真空用电磁阀

密封力和真空保持力强,适用于高真空的直动式电磁阀。

【高真空适用】
真空泄漏量1.0×10^-9Pa・㎥/s以下,适用于高真空系统。

【轻量、紧凑】
采用薄型线圈,轻量紧凑。

【产品种类】
可从5个线圈尺寸、多个节流孔径中选择*佳规格。


【连接选择项丰富】
备有VCR兼容接头(JXR接头)、双卡套接头一体型,可保持真空容器、配管的真空度。


定位:2 通直动式高真空电磁阀、NC 常闭(通电开启) 旧型号 HVB41/HVB51/HVB61/HVB71 已停产,新项目统一选用 HVB□12 新一代 核心特征:超低泄漏、SUS316L 洁净阀体、零压差可动作,半导体 / 锂电池真空设备主力阀

一、全系列主干型号一览表(HVB12 系列)

表格

型号 阀体幅宽 可选节流孔径 流量等级
HVB112 小型 Φ1.6 微小流量,分析仪器
HVB212 22 mm Φ1、Φ2 极小流量,腔体吹扫
HVB312 28 mm Φ2、Φ3 小流量工艺气路
HVB412 34 mm Φ3、Φ4.5、Φ6 中流量,锂电池真空干燥主流
HVB512 40 mm Φ4.5、Φ6 中流量真空进气 / 排气
HVB612 60 mm Φ8、Φ12 中大流量管路
HVB712 70 mm Φ12、Φ15 大流量真空主管路

二、通用核心技术参数

表格

项目 标准规格
阀形式 2 通直动式、NC 常闭(通电开)
泄漏率(He 检漏) ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s(内漏 + 外漏)
驱动条件 直动式,0 压差即可动作(无需先导压力)
阀体材质 SUS316L 不锈钢流路不含铜 / 锌,低析出,适配洁净制程
标准密封 FKM 氟橡胶;可选 FFKM 超高洁净密封
适用流体 干燥空气、氮气、氩气等惰性气体;禁止水汽、粉尘、腐蚀性气体
使用压力范围 真空 ~ 0.1 MPa(A 口真空侧);耐压力*高 5 MPa
流体温度 5~55℃(不可结冰、结露)
环境温度 0~55℃
动作频率 ≤10 次 / 分钟
耐久寿命 *高 200 万次(标准工况)
安装方式 任意方向自由安装
标准电压 DC24V(主流)、DC12V;可选 AC100/200V

三、可选配管接口(订货关键)

  1. NPT 螺纹、Rc 螺纹
  2. JXR 接头(VCR 兼容) 半导体高纯气**
  3. 双卡套一体接头
  4. 法兰接口(大口径 HVB612/HVB712)

四、完整型号编码范例

HVB412-6-JXR1/4-DC24V 释义:34mm 幅宽、Φ6 节流孔、1/4" JXR(VCR 兼容接头)、DC24V

五、核心产品优势

  1. 超高真空低泄漏,可维持高真空腔体真空度;
  2. 洁净构造,满足锂电池、半导体低析出要求;
  3. 薄型轻量化线圈,功耗低,适合设备内置;
  4. 直动结构,真空启动阶段无*低压差限制;
  5. 接口丰富,可直接对接 VCR 真空管路。

六、典型应用场景

  1. 锂电池设备 真空干燥机、注液机、化成柜真空管路、氮气吹扫阀
  2. 半导体、真空镀膜 PVD/CVD 腔体工艺进气、真空隔离阀、腔体吹扫
  3. 光学镀膜、真空热处理炉
  4. 分析仪器、电子显微镜、质谱仪真空气路
  5. 科研真空实验装置
型号 名称 尺寸种类 节流孔径 备注
HVB112 高真空用电磁阀 尺寸1 Φ1.6
HVB212 高真空用电磁阀 22mm宽 Φ1, Φ2
HVB312 高真空用电磁阀 28mm宽 Φ2, Φ3
HVB412 高真空用电磁阀 34mm宽 Φ3, Φ4.5, Φ6
HVB512 高真空用电磁阀 40mm宽 Φ4.5, Φ6
HVB612 高真空用电磁阀 60mm宽 Φ8, Φ12
HVB712 高真空用电磁阀 70mm宽 Φ12, Φ15
HVB41 高真空用电磁阀 φ5 2019年05月31日
销售中止
代替产品:HVB412系列
HVB51・HVB61・HVB71・HVB81 高真空用电磁阀 2010年03月31日
销售中止
代替产品
HVB51・HVB61:HVB612系列
HVB71・HVB81:HVB712系列