基础总参数（标准 ZCD，常温版）

ZCD 完整型号列表

标准常温 ZCD（‑10~80℃，PCTFE）

ZCD‑K 高温零容积版本（接液*高 250℃，PI 聚酰亚胺阀座）

型号释义

• ZCD：零容积；4/8 口径；CS 气动 NC；Q 手动；K = 高温 250℃规格
• VC=M‑CVC 公；VFC=F‑CVC 母；VF=VCR 母；GA=C‑Seal 高温接口
• EP 电解抛光；316L 阀体

应用场景

1. 源瓶 / 钢瓶出口阀：特气、前驱体瓶阀；快速置换吹扫，降低残留气体污染，ZCD 强制提升机构解决真空工况隔膜吸贴打不开的痛点。
2. 分析取样气路、残余气体分析 RGA、质谱仪器，需要快速切换、快速置换。
3. VMB 分配柜取样支路，频繁切换不同工艺气体，杜绝交叉污染。
4. ZCD‑K 高温版：ALD 固体 / 低蒸气压前驱体源瓶阀，接液 250℃，注意执行器环境温度不超过 100℃，不能像 TD‑S/TDF 整阀泡在 200℃腔体内。