基础总参数（TD 集成阀，常温）

TD 完整型号列表

直通 2 通自动阀

三通分流自动阀（3‑Way Branch）

手动参考型号：TD4QS‑GC‑183‑FA‑SEP‑316LE（90°LOTO 锁止手动阀）

型号代号释义

• TD = 集成系统 C‑Seal 基板阀；4 = 对应 1/4″流量等级
• CS=NC 常闭；OS=NO 常开；CB = 三通分流；QS = 手动
• GC = 标准 C‑Seal 基板接口；GA = 高温 TD‑S 专用 C‑Seal
• FA = 基板安装形式；SEP=316LE 双熔炼超高纯；EP = 普通电解抛光

应用场景

1. 半导体 C‑Seal 集成阀块（Mono‑Block 集成供气系统），螺钉直接锁在基板，消除卡套接头死容积，VMB 集成模组。
2. 面板、光伏、半导体设备机台内置集成气路；氮气、氩气、普通惰性特气切断、切换、取样。
3. 三通 TD4CB 用于多路气体切换，RGA 残余气体分析取样基板。