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KITZ北泽 XD 系列自动隔膜
产品型号：XD8MS‑VC‑EP‑316L
产品简介：

这是一款用于高纯气体工艺的低成本隔膜阀。它可广泛应用于包括半导体制造在内的诸多领域。
详细介绍
KITZ北泽  XD 系列自动隔膜

XD 系列只有手动版本，没有气动自动型号。

XD 定位为「经济型手动隔膜阀」，简化结构、降低成本，专为非关键手动支路设计。

XD 系列实际产品线（全手动，无自动）

型号 驱动 口径 Cv 压力 接口 特点
XD4MS‑VC‑EP‑316L 手动 1/4" 0.27 0.98MPa M‑CVC 公卡套 经济型手动，不可维修膜片
XD4MS‑WC‑EP‑316L 手动 1/4" 0.27 0.98MPa 轨道对焊 焊接管路经济型
XD8MS‑VC‑EP‑316L 手动 1/2" 0.70 0.98MPa M‑CVC 公卡套 大流量经济型手动
  • 隔膜：Elgiloy 合金，一次性不可现场维修
  • 阀体：SUS316L EP 抛光 Ra≤0.25μm
  • 阀座：PCTFE
  • He 泄漏：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s

    D（手动）vs VLD（自动）对比

    项目 XD 系列 VLD 系列
    驱动方式 仅手动 气动自动（NC）
    定位 经济型手动支路 经济型自动支路
    隔膜维修 不可维修 不可维修
    *高压力 0.98MPa 0.98MPa
    洁净等级 EP 半导体级 EP 半导体级
    适用场景 非关键手动吹扫、辅助支路 VMB 辅助气动切断、机台辅助气路