基础总参数

IB 标准切断型（气动 NC）型号表

IB‑VCS 气动流量可调波纹管阀（可变 Cv）

手动参考型号：IB4QS‑VCC‑EP‑316L（90° 旋转手动波纹管阀）

型号代号释义

• IB：小口径波纹管阀；4/6/8=1/4"/3/8"/1/2"
• CS = 气动常闭切断；VCS = 气动流量可调；QS=90° 手动
• VCC=M‑CVC 公；VFCC=F‑CVC 母；WCC = 轨道对焊
• EP = 电解抛光；STD = 机械抛光；316L 阀体

应用场景

1. 半导体真空排气管路：刻蚀、沉积腔体排气切断，波纹管隔绝工艺废气，杜绝介质侵入执行器，减少颗粒污染。
2. VMB、特气柜供气支路，有毒、腐蚀性工艺气体，对外漏要求极高工况。
3. 同时兼顾供气 + 排气切换回路；IB‑VCS 用于需要气动限流、限制*大流量的工艺回路。
4. 面板、光伏设备高纯气体供给与真空管路。