基础总参数

IB‑VCS 完整型号列表

型号代号释义

• IB‑V：可变流量 Variac 系列；VCS=Variable‑Flow Control Solenoid‑Actuated 气动预调流量
• 4/6/8：1/4" /3/8" /1/2"
• VCC=M‑CVC 公；VFCC=F‑CVC 母；WCC = 轨道对焊
• EP：电解抛光；STD 机械抛光；316L 阀体

应用场景

1. 刻蚀、沉积腔体真空排气支路：限制排气速率，防止腔体压力剧烈冲击，替代 “切断阀 + 针阀” 两件套，节约阀箱空间。
2. 工艺吹扫、稀释气路，需要固定*大流量，不希望额外加装 MFC。
3. VMB 特气柜限流支路；有毒、腐蚀性特气，波纹管结构保障极低外漏风险。
4. 面板、光伏设备气体供给限流回路。