BZD 为半导体级高纯双偏心晶圆（对夹）蝶阀，大口径大通流，替代 IBC/IBD/IBE 波纹管阀用于工厂排风、大流量吹扫；双偏心结构，全开时蝶板脱离 PTFE 阀座，降低颗粒产生；支持气动自动、手动；连接以 RFXT 对夹法兰为主，口径 50A‑400A。

基础总参数

BZD 自动气动型号列表（RFXT 晶圆对夹法兰）

手动参考型号：BZD80MS‑RFXT‑EP‑316L，齿轮手操作，省力扭矩设计。

型号代号释义

• BZD：清洁高纯蝶阀；CS = 气动 NC 常闭；MS = 手动齿轮；
• RFXT=Wafer 晶圆对夹法兰；EP = 电解抛光；STD 机械抛光；316L 阀体

应用场景

1. 半导体厂务大流量排风、工艺废气排风系统、设备主排气、洁净厂房大量吹扫供气。
2. 面板、光伏大流量惰性气体吹扫管路；可做开关切断，也可配定位器做节流调节。
3. 优先用于排风 / 吹扫；不建议用于剧毒、高危特气主路（阀杆填料存在外漏风险，高危特气优先 IBC/IBD/IBE 波纹管阀）。