基础参数

型号‑规格‑Cv 参数总表

型号编码：HFD‑规格代码‑接口后缀‑表面‑驱动后缀

规格代码：8=1/2"基座；12=3/4"&1" 基座

1/2"基座（代码 8，*大接口 1/2"）

3/4"&1" 基座（代码 12）

后缀说明：

1. ‑NO：气动常开；‑DA：双作用；‑F：锻造阀体（HFD‑16VM‑F‑NC），UHP 超高纯优选；

2. ‑EP电解抛光 / ‑BA光亮退火；

3. IPP 入口吹扫、OPP 出口吹扫、IOPP 双向吹扫，用于阀箱 VMB 吹扫置换；

4. 接口可异径，例 HFD‑12VFVM(8)：一端 3/4"VF，一端 1/2"VM 异径接头。

型号编码举例

• HFD：HFD 系列；16：1" 规格；VM：VTF 外螺纹；F 锻造阀体；EP 电解抛光；NC 气动常闭；IOPP 双向吹扫端口。

HFD 系列核心产品特点

1. 大流量金属隔膜结构：相比 DVF/DVE 小口径隔膜阀，Cv 大幅提高，死腔极小，气体置换性能**，阀位可视指示器，肉眼确认开关状态、

2. 全金属隔膜密封，无填料函，零外泄漏；适合高纯、有毒、可燃特气；隔膜为钴镍合金，抗疲劳寿命高。

3. 可带吹扫端口，阀箱 VMB 多路阀组内部吹扫，减少残气滞留。

4. 洁净室装配清洗，无油处理，满足半导体 UHP 超高纯大宗气体标准。

5. HFD‑F 锻造阀体版本：阀体无铸造气孔缺陷，用于对颗粒要求严苛制程。

运用场景

1. 半导体晶圆厂（*主要）

• 大宗气体总管支路阀门：N₂、Ar、O₂、H₂等 UHP 超高纯气体；

• VMB 阀箱主管切断、吹扫阀，替代传统小流量 DVE/DVF 隔膜阀用于中大流量支路；

• 蚀刻、沉积设备辅助工艺气路，高纯气体输送切断。

2. 光伏 / 锂电行业

   惰性保护气体、高纯工艺气体管路切断；对洁净度、低颗粒要求高的供气系统。
3. 特种化工 & 实验室特气柜

   高纯腐蚀性、惰性气体；不允许外漏工况；适合真空到 1MPa 压力区间。
4. 制药、高纯流体系统

   高纯惰性气体，洁净管路切断；不适合大量液体，优先气体工况。