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后缀‑NC = 气动常闭;‑NO = 气动常开;CVY‑F 开头 = 锻造阀体版本,适合高纯 UHP 工况。
CVY‑20PW5‑16CT‑EP‑NC
CVY:铸造本体;20:20A;PW:管道对焊;5:管壁厚度;16CT:PCTFE 阀座;EP:电解抛光;NC:气动常闭。
Y 型流道,流阻低、Cv 大,介质流动顺畅,死空间少
全金属波纹管外部密封,无填料函,零外泄漏,适合有毒、腐蚀性、可燃性气体,杜绝填料外泄风险
PCTFE 阀座版本泄漏等级ji高,适配超高纯气体;PTFE 用于一般化学流体
支持半导体级 EP 电解抛光洁净处理,满足 UHP 超高纯管路
大口径做到 40A (1‑1/2"、2"),相比小口径 GCV 系列,用于主管路大流量
半导体制造
晶圆厂工艺气体管路、特种特气(腐蚀 / 有毒气体)、真空排气管路、大宗气体总管、蚀刻 / 沉积设备辅助管路;替代部分隔膜阀做中大流量切断;高纯 N₂、Ar、O₂、工艺腐蚀性气体。
真空设备
高真空系统切断阀;从大气压到高真空隔离;波纹管结构不会出现填料向外放气污染真空腔体。
化工与特种流体
腐蚀性液体、有机溶剂、有毒介质管路;不允许介质向外泄漏的工艺。
制药 / 生物工艺
高纯试剂、无菌流体、臭氧发生系统,洁净管路切断。
锂电、光伏面板设备
工艺气体、惰性保护气体主管路切断。