欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
日本IHARA 伊原科学Y型波纹管密封阀
产品型号: CVY‑16TW
产品简介:

CVY 为Y 型金属波纹管密封阀,无填料函外漏,氦检漏等级高;分为手动、气动常闭 NC、气动常开 NO;阀体分铸造本体 CVY、锻造本体 CVY‑F;支持 EP 电解抛光 / BA 光亮退火,半导体高纯、特气、真空管路主流阀款

详细介绍
日本IHARA 伊原科学Y型波纹管密封阀


基础通用参数

项目 规格
工作压力 标准:真空~1 MPa;可选*高真空~2 MPa
工作温度 -10~+80℃
主体材质 阀体:SUS316L / SCS16A;波纹管:SUS316L;阀座:PTFE / PCTFE;阀盖 SCS13A
氦检漏 PTFE 阀座:1×10⁻⁶ Pa・m³/s;PCTFE 阀座:5×10⁻¹⁰ Pa・m³/s(阀座内外测试)
内表面处理 BA 光亮退火 / EP 电解抛光(Ra 可选)
驱动形式 手动手轮;气动常闭‑NC;气动常开‑NO
连接类型 TW 管对焊;PW 对焊法兰;VTF‑VM 外金属垫片;VTF‑VF 内金属垫片

型号全集(连接方式 + 规格)

1、TW(Tube stub 管嘴焊接)

型号 公称通径 Cv 值 驱动
CVY‑12TW 3/4" 11 手动
CVY‑16TW 1" 12 手动
CVY‑24TW 1‑1/2" 13 手动
CVY‑32TW 2" 34 手动
CVY‑12TW‑NC 3/4" 11 气动常闭
CVY‑16TW‑NC 1" 12 气动常闭
CVY‑24TW‑NC 1‑1/2" 13 气动常闭
CVY‑32TW‑NC 2" 34 气动常闭

2、PW(Pipe Weld 管道对焊,JIS 公称 A 系列)

型号 公称通径 Cv 值 驱动
CVY‑15PW 15A 11 手动
CVY‑20PW 20A 12 手动
CVY‑25PW 25A 13 手动
CVY‑32PW 32A 34 手动
CVY‑40PW 40A 34 手动
CVY‑15PW‑NC 15A 11 气动常闭
CVY‑20PW‑NC 20A 12 气动常闭
CVY‑25PW‑NC 25A 13 气动常闭
CVY‑32PW‑NC 32A 34 气动常闭
CVY‑40PW‑NC 40A 34 气动常闭

3、VTF 金属垫片密封接头(VCR 等效)

型号 规格 驱动
CVY‑12VM 3/4" VTF 外螺纹 手动
CVY‑16VM 1" VTF 外螺纹 手动
CVY‑12VF 3/4" VTF 内螺纹 手动
CVY‑16VF 1" VTF 内螺纹 手动
后缀‑NC = 气动常闭;‑NO = 气动常开;CVY‑F 开头 = 锻造阀体版本,适合高纯 UHP 工况。

型号编码示例

CVY‑20PW5‑16CT‑EP‑NC
  • CVY:铸造本体;20:20A;PW:管道对焊;5:管壁厚度;16CT:PCTFE 阀座;EP:电解抛光;NC:气动常闭。

产品特点

  1. Y 型流道,流阻低、Cv 大,介质流动顺畅,死空间少

  2. 全金属波纹管外部密封,无填料函,零外泄漏,适合有毒、腐蚀性、可燃性气体,杜绝填料外泄风险

  3. PCTFE 阀座版本泄漏等级ji高,适配超高纯气体;PTFE 用于一般化学流体

  4. 支持半导体级 EP 电解抛光洁净处理,满足 UHP 超高纯管路

  5. 大口径做到 40A (1‑1/2"、2"),相比小口径 GCV 系列,用于主管路大流量

应用场景

  1. 半导体制造

    晶圆厂工艺气体管路、特种特气(腐蚀 / 有毒气体)、真空排气管路、大宗气体总管、蚀刻 / 沉积设备辅助管路;替代部分隔膜阀做中大流量切断;高纯 N₂、Ar、O₂、工艺腐蚀性气体。

  2. 真空设备

    高真空系统切断阀;从大气压到高真空隔离;波纹管结构不会出现填料向外放气污染真空腔体。

  3. 化工与特种流体

    腐蚀性液体、有机溶剂、有毒介质管路;不允许介质向外泄漏的工艺。

  4. 制药 / 生物工艺

    高纯试剂、无菌流体、臭氧发生系统,洁净管路切断。

  5. 锂电、光伏面板设备

    工艺气体、惰性保护气体主管路切断。