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IKC入江工研 双面密封方形真空闸阀
产品型号:CKS-Ⅱ-D-8
产品简介:

KOSLARZE 是 IKC 面向半导体、面板、精密真空打造的无滑动洁净方形闸阀,行业俗称晶圆门阀、狭缝阀,核心优势为零摩擦启闭、极低颗粒物、低漏率、百万次长寿命,是晶圆传输腔、Load-lock、刻蚀 / PVD 腔体隔断的标配阀。

详细介绍


IKC入江工研双面密封方形真空闸阀
KOSLAZE-D 是 IKC 在单面密封基础上升级的双圈独立密封抬升平移矩形闸阀,是半导体 12 英寸优良制程量产核心标配,核心亮点:密封圈检修可不停机破两侧腔体真空,依靠中间夹层泄压维保,zui大程度提升设备稼动率,全程无滑动低发尘结构不变

一、核心结构与密封原理

1、基础结构

阀板前后各布置 1 圈独立氟橡胶密封圈,两道密封圈中间形成密闭隔离夹层;顶部三段式波纹管气缸:平移气缸、抬升气缸、锁紧气缸,延续 IKC 无摩擦启闭结构。

2、标准启闭流程

  1. 开阀:阀板水平平移脱离密封面→垂直抬升,wan全让出方形通口,腔体全通;

  2. 关阀:阀板下落贴合法兰→压差锁紧,前后密封圈分别压紧左右两侧腔体法兰,双向隔绝真空。

3、不停机维保核心原理

  1. 阀门关闭、两侧腔体保持真空;

  2. 仅对中间夹层单独泄压至常压,两侧工艺腔、传输腔真空全程保留;

  3. 拆开阀体侧盖,单独更换单侧老化密封圈;

  4. 夹层复抽真空,阀门恢复密feng锁止,产线不间断生产。

4、密封方向切换特性

可按需选择靠左腔体密封 / 靠右腔体密封,单侧腔体检修泄压,另一侧腔体持续量产,多腔体集群适配性ji强。

二、全系列标准型号清单(D = 双面密封)

1、KS-Ⅰ-D 一代双面密封(老旧 8 英寸设备改造)

型号 方形通口尺寸 法兰外形 适用场景
KS-Ⅰ-D-5.125 5.125 英寸 130×130mm 小型老旧 Loadlock 检修隔断
KS-Ⅰ-D-6 6 英寸 152×152mm 6 英寸老旧镀膜设备改造
KS-Ⅰ-D-8 8 英寸 203×203mm 早期 8 英寸刻蚀、PVD 腔体
KS-Ⅰ-D-12 12 英寸 305×305mm 老式 12 英寸试验设备
  • 寿命:≥400 万次;阀体厚重、刚性强,缺点体积大、动作偏慢。

2、KS-Ⅱ-D 二代双面密封(市面量产主流,使用率*高)

型号 通口规格 细分定制版本 核心用途
KS-Ⅱ-D-5.125 5.125" 标准 / HT 高温 / C 耐腐蚀 离子注入机、检测设备小隔断
KS-Ⅱ-D-6 6" 标准 / HT 6 英寸功率半导体产线
KS-Ⅱ-D-8 8" 标准 / HT/C 8 英寸 IGBT、MOS、成熟制程主隔断
KS-Ⅱ-D-12 12" 标准 / HT/C 12 英寸 28nm~7nm 优良制程传输腔
  • HT 高温款:KS-Ⅱ-D-X-HT,*高 200℃烘烤;

  • C 耐腐蚀款:KS-Ⅱ-D-X-C,氟醚密封圈、电解抛光阀体,耐卤素等离子腐蚀;

  • 寿命:常规 600~800 万次,加强版 1000 万次。

3、CKS-Ⅱ-D 紧凑型超薄双面密封(新一代集成设备专用)

型号:CKS-Ⅱ-D-6、CKS-Ⅱ-D-8、CKS-Ⅱ-D-12
  • 结构:气缸侧向安装,阀体厚度相比 KS-Ⅱ-D 缩减 30%;

  • 特点:轻量化、安装紧凑,法兰尺寸与标准版通用,可直接替换老款闸阀;

  • 寿命:≥600 万次;

  • 适用:紧凑型多腔体机台、探针台、MiniLED 蒸镀设备。

4、特殊衍生双面密封型号

  1. KOSLAZE-M-D:手动双面闸阀,手轮驱动,实验室备用检修阀;

  2. KOSLAZE-E-D:电动伺服双面闸阀,无气源车间、科研精密真空;

  3. GARIVA-D:超大尺寸双面闸阀,14~22 英寸,G6/G10.5 面板产线专用。

精准应用场景划分

1、半导体集成电路(核心主战场)

  1. 12 英寸优良制程:KS-Ⅱ-D-12、CKS-Ⅱ-D-12

    场景:刻蚀机、ALD、CVD、PVD、离子注入、中央传输腔 Cluster 集群;不停机维保保障晶圆量产稼动率。

  2. 8 英寸功率半导体:KS-Ⅱ-D-8

    场景:IGBT、碳化硅、光伏芯片、MOSFET 生产线腔体隔断。

  3. 芯片检测设备:CKS-Ⅱ-D-5.125/6

    场景:探针台、光学缺陷检测、真空测试腔体。

2、显示面板 FPD 行业

GARIVA-D 大尺寸双面阀、KS-Ⅱ-D 大口径定制:G6~G10.5 代 LCD/OLED 蒸镀、等离子清洗、面板传输隔断。

3、新能源gao端真空

固态电池烧结腔体、钙钛矿光伏镀膜、锂电池高真空封装设备。

4、科研 & gao端装备

同步辐射光源、电子显微镜、航天超高真空试验腔体、精密光学镀膜设备。

5、设备改造替换

替换 CKD、SMC、MKS 进口闸阀,双面密封结构为 IKC du家优势,国产仿制双面阀稳定性、寿命差距明显。