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IKC入江工研双面密封方形真空闸阀 KOSLAZE-D 是 IKC 在单面密封基础上升级的双圈独立密封抬升平移矩形闸阀,是半导体 12 英寸优良制程量产核心标配,核心亮点:密封圈检修可不停机破两侧腔体真空,依靠中间夹层泄压维保,zui大程度提升设备稼动率,全程无滑动低发尘结构不变
开阀:阀板水平平移脱离密封面→垂直抬升,wan全让出方形通口,腔体全通;
关阀:阀板下落贴合法兰→压差锁紧,前后密封圈分别压紧左右两侧腔体法兰,双向隔绝真空。
阀门关闭、两侧腔体保持真空;
仅对中间夹层单独泄压至常压,两侧工艺腔、传输腔真空全程保留;
拆开阀体侧盖,单独更换单侧老化密封圈;
夹层复抽真空,阀门恢复密feng锁止,产线不间断生产。
寿命:≥400 万次;阀体厚重、刚性强,缺点体积大、动作偏慢。
HT 高温款:KS-Ⅱ-D-X-HT,*高 200℃烘烤;
C 耐腐蚀款:KS-Ⅱ-D-X-C,氟醚密封圈、电解抛光阀体,耐卤素等离子腐蚀;
寿命:常规 600~800 万次,加强版 1000 万次。
结构:气缸侧向安装,阀体厚度相比 KS-Ⅱ-D 缩减 30%;
特点:轻量化、安装紧凑,法兰尺寸与标准版通用,可直接替换老款闸阀;
寿命:≥600 万次;
适用:紧凑型多腔体机台、探针台、MiniLED 蒸镀设备。
KOSLAZE-M-D:手动双面闸阀,手轮驱动,实验室备用检修阀;
KOSLAZE-E-D:电动伺服双面闸阀,无气源车间、科研精密真空;
GARIVA-D:超大尺寸双面闸阀,14~22 英寸,G6/G10.5 面板产线专用。
12 英寸优良制程:KS-Ⅱ-D-12、CKS-Ⅱ-D-12
场景:刻蚀机、ALD、CVD、PVD、离子注入、中央传输腔 Cluster 集群;不停机维保保障晶圆量产稼动率。
8 英寸功率半导体:KS-Ⅱ-D-8
场景:IGBT、碳化硅、光伏芯片、MOSFET 生产线腔体隔断。
芯片检测设备:CKS-Ⅱ-D-5.125/6
场景:探针台、光学缺陷检测、真空测试腔体。