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IKC入江工研Gulliver单侧密封方形真空闸阀
单气缸集成波纹管驱动,一体化平移抬升机构,结构高度简化;
阀板仅单侧一圈密封圈(标准单面密封 S),无中间夹层,无法不停机维保;
全程阀板平移脱离密封面再抬升,启闭无摩擦,低发尘,继承 IKC 无尘zhuan利。
开阀:阀板水平平移脱离阀座→垂直上抬,流道全开;
关阀:阀板垂直下落贴合法兰→气压锁紧,依靠压差压紧单侧密封圈密封。
GL-HT:高温烘烤款,*高耐温 200℃,Kalrez 全氟醚密封圈;
GL-CORR:耐腐蚀款,阀体电解抛光,耐卤素等离子、酸碱腐蚀;
GL-M:手动格列佛,手轮机械启闭,实验室低频检修隔离。
极限静态漏率:阀体≤\(1×10^{-10}\ \text{Pa·m}^3/\text{s}\),阀板密封≤\(5×10^{-10}\ \text{Pa·m}^3/\text{s}\);
压差耐受:正向承压 101kPa 大气压,反向耐压偏弱,不适合长期反向高压差工况;
密封材质:标配 FKM 氟橡胶(-20~150℃),高温选配 Kalrez 全氟醚。
驱动方式:标配气动,气源压力0.45~0.55MPa 洁净无油压缩空气;
启闭速度:1.0~3.0s,快于常规 KOSⅡ 单面阀;
使用寿命:标准 600 万次,加强版*高 800 万次,低于科斯拉泽甲阀;
执行器耐受:气缸波纹管*高 60℃,阀体常温 120℃,HT 款阀体 200℃。
标准阀体:SUS304 不锈钢,Ra≤0.8μm;工况严苛选用 SUS316L 电解抛光;
结构特点:体积轻薄、自重轻、安装法兰与 KOSLAZE 法兰通用,可直接互换替换。
Loadlock 进出锁腔、腔体泄压隔离阀、设备外围支线隔断;
芯片检测设备、探针台、光学测试腔体小型隔断;
8/12 英寸设备非核心工艺腔隔离,不用于中央传输腔;
老旧设备国产化替换、低成本改造。