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IKC入江工研Gulliver单侧密封方形真空闸阀
产品型号: GL-8
产品简介:

这款闸阀是我们的旗舰产品,专为大口径L型运动阀而设计。 通过在阀板单元中集成我们du有的波纹管气缸,即使在大开孔的情况下也能确保稳定的密封性能。此外, 通过采用压差抵消结构,可以显著降低在背压作用下作用于阀板上的压差。

详细介绍

IKC入江工研Gulliver单侧密封方形真空闸阀

格列佛(Gulliver)是 IKC轻量化平移抬升式单侧密封矩形闸阀,属于 KOSLAZE 科斯拉泽甲阀同技术谱系,同样采用无滑动摩擦结构,业内简称 “格列佛单封阀",定位:经济型、薄型、轻量化单侧密封闸阀,主打紧凑空间、低预算支线隔断,仅做单面密封,**面密封版本。
和 KOSLAZE 甲阀区别:甲阀侧重核心腔体、长寿命、可做双面不停机维保;格列佛主打轻薄、低价、快速启闭,仅单面密封。

一、结构与启闭原理

1、核心结构

  • 单气缸集成波纹管驱动,一体化平移抬升机构,结构高度简化;

  • 阀板仅单侧一圈密封圈(标准单面密封 S),无中间夹层,无法不停机维保;

  • 全程阀板平移脱离密封面再抬升,启闭无摩擦,低发尘,继承 IKC 无尘zhuan利。

2、启闭流程

  1. 开阀:阀板水平平移脱离阀座→垂直上抬,流道全开;

  2. 关阀:阀板垂直下落贴合法兰→气压锁紧,依靠压差压紧单侧密封圈密封。

3、密封短板

更换密封圈必须将阀门一侧腔体泄压破真空,无法像 D 型双封阀夹层泄压维保。

二、全系列型号分类、规格清单

格列佛全系列分为标准 Gulliver、紧凑型 Gulliver-C、高温 HT、耐腐蚀 C 防腐款,通口沿用半导体晶圆标准英寸规格。

1、常规标准版 GL(Gulliver)

型号 方形通口 法兰外形尺寸 定位
GL-5.125 5.125 英寸 130×130mm 小型腔体、检测设备隔断
GL-6 6 英寸 152×152mm 6 英寸设备支线隔离
GL-8 8 英寸 203×203mm 8 英寸设备 Loadlock、支线阀
GL-12 12 英寸 305×305mm 12 英寸设备外围次要隔断

2、紧凑型 Gulliver-C(超薄款)

型号:GL-C-6、GL-C-8、GL-C-12
阀体厚度比标准版格列佛缩减 25%,气缸侧向布置,适配狭小设备安装空间,是新一代紧凑型机台shou选单侧阀。

3、定制衍生型号

  1. GL-HT:高温烘烤款,*高耐温 200℃,Kalrez 全氟醚密封圈;

  2. GL-CORR:耐腐蚀款,阀体电解抛光,耐卤素等离子、酸碱腐蚀;

  3. GL-M:手动格列佛,手轮机械启闭,实验室低频检修隔离。

三、统一核心技术参数

1、真空密封性能

  • 极限静态漏率:阀体≤\(1×10^{-10}\ \text{Pa·m}^3/\text{s}\),阀板密封≤\(5×10^{-10}\ \text{Pa·m}^3/\text{s}\);

  • 压差耐受:正向承压 101kPa 大气压,反向耐压偏弱,不适合长期反向高压差工况;

  • 密封材质:标配 FKM 氟橡胶(-20~150℃),高温选配 Kalrez 全氟醚。

2、驱动与寿命

  • 驱动方式:标配气动,气源压力0.45~0.55MPa 洁净无油压缩空气

  • 启闭速度:1.0~3.0s,快于常规 KOSⅡ 单面阀;

  • 使用寿命:标准 600 万次,加强版*高 800 万次,低于科斯拉泽甲阀;

  • 执行器耐受:气缸波纹管*高 60℃,阀体常温 120℃,HT 款阀体 200℃。

3、材质与外形

  • 标准阀体:SUS304 不锈钢,Ra≤0.8μm;工况严苛选用 SUS316L 电解抛光;

  • 结构特点:体积轻薄、自重轻、安装法兰与 KOSLAZE 法兰通用,可直接互换替换。

四、格列佛 VS KOSLAZE 单面甲阀 对比

对比项 Gulliver 格列佛(单侧密封) KOSLAZE-Ⅱ S 单面甲阀
结构 单气缸一体化,极简结构 三气缸分体结构,动作更稳定
阀体厚度 薄、轻量化 更厚实、刚性更强
使用寿命 600~800 万次 600~1000 万次
反压密封 一般,不适合长期反向压差 抗反压稳定,双向密封性好
采购价格 低,经济型 偏高
维保 必须破腔体真空 同样破真空,但配件更耐用
适用定位 支线、外围隔断、预算有限场景 设备次要腔体、高频稳定工况

五、精准应用场景

1、半导体行业(主力场景)

  1. Loadlock 进出锁腔、腔体泄压隔离阀、设备外围支线隔断;

  2. 芯片检测设备、探针台、光学测试腔体小型隔断;

  3. 8/12 英寸设备非核心工艺腔隔离,不用于中央传输腔;

  4. 老旧设备国产化替换、低成本改造。

2、显示面板 FPD

中小型 OLED、MiniLED 蒸镀支线隔断、等离子清洗设备次要隔离阀。

3、科研与通用真空

实验室小型超高真空腔体、镀膜机辅助隔断、真空泵管路切断阀。

4、新能源

锂电池真空烘干、小型钙钛矿光伏镀膜简易隔断