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MW BellowsTech 半导体UHV真空边缘焊接金属波纹管
产品型号：
产品简介：

MW BellowsTech是MW Components旗下品牌，核心产品为边缘焊接金属波纹管。其采用超薄膜片激光精密叠焊成型，提供全金属密封屏障，行程可达自身长度的90%。产品具备超高柔性、极低漏率（＜1×10⁻⁹ cc He/sec），耐高温及耐腐蚀，可选不锈钢、钛、Inconel等多种材料，广泛用于半导体、航空航天、医疗等**领域。
详细介绍

MW-BellowsTech Edge‑Welded Metal Bellows（边缘焊接金属波纹管）



项目 参数
工艺 激光边缘焊接膜片叠焊成型
外径范围 10mm‑660mm，支持跑道形、异形非标
膜片厚度 0.051‑0.51mm，单层 / 多层可选
行程能力 *大可达自由长度 90%，远高于液压成型波纹管
泄漏率 ≤1×10⁻⁹ std.cc/sec He 氦检漏率
工作温度 -251℃ ~ 704℃（‑420℉‑1300℉），随材质变化
可选材质 316L、Inconel625/718、Hastelloy、钛合金 Ti、AM350
连接端 裸波纹管、CF/KF 真空法兰、螺纹、平焊端盖，可定制总成
认证 ISO9001‑2015、AS9100D，支持 RoHS、ITAR、DFARS 合规


产品特点

  • 全金属气密密封，无橡胶部件，极低出气，适配 UHV 超高真空，无有机物析出污染腔体。
  • 同等尺寸下伸缩行程大，弹簧刚度小，对阀芯、精密传动负载小。
  • 可实现轴向、径向、角向三维位移补偿，耐卤素、等离子、强腐蚀介质。
  • 可单层 / 多层膜片结构，多层版本提升耐压性能；圆形、异形均可加工。
  • 高循环疲劳寿命，适配严苛精密设备 OEM 整机配套。


    • 运用场景

  • 半导体行业：PVD/CVD 刻蚀机、离子注入设备；用于真空腔体补偿、阀杆密封、真空馈通、机械手位移补偿、束线组件。
  • 航空航天：航天仪表、低温推进装置、压力传感元件、航空液压执行器。
  • 精密仪器阀门：全金属波纹管阀动密封、质谱仪、电子束设备密封元件。
  • 医疗设备：钛合金生物兼容款，微创器械、真空医疗腔体柔性密封。
  • 油气能源深冷设备：液氮 / 液氦深冷管路、井下工具、高温测试台补偿密封。