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MW BellowsTech CF超高真空焊接波纹管
产品型号:
产品简介:

MW BellowsTech是MW Components旗下品牌,核心产品为边缘焊接金属波纹管。其采用超薄膜片激光精密叠焊成型,提供全金属密封屏障,行程可达自身长度的90%。产品具备超高柔性、极低漏率(<1×10⁻⁹ cc He/sec),耐高温及耐腐蚀,可选不锈钢、钛、Inconel等多种材料,广泛用于半导体、航空航天、医疗等**领域。

详细介绍

MW-BellowsTech Assemblies FR‑ConFlat Flanges(CF 超高真空边缘焊接波纹管总成)


参数项 标准规格
产品型号 FR‑CF(FR‑1.33CF / FR‑2.75CF / FR‑4.5CF 等,按 CF 法兰外径区分)
波纹管类型 Edge‑Welded 边缘焊接波纹管
法兰形式 ConFlat (CF) 刀边法兰;一端固定、一端可旋转
标准法兰规格 1.33"CF、2.75"CF、4.5"CF、6"CF(DN16~DN200,可定制)
主体材质 304L /316L 不锈钢;可选 Inconel、Hastelloy、钛合金
漏率 ≤1×10⁻⁹ std.cc/sec He
工作温度 -196℃ ~ +450℃,支持烘烤除气
工作真空等级 UHV 超高真空
波纹管行程 *大可达自由长度 90%
合规 RoHS、ITAR、DFARS、ISO9001


产品特点

  • 全金属无橡胶结构,可高温烘烤,放气率极低,适配超高真空工况。
  • ConFlat 刀边金属密封,一端可旋转法兰,现场装配不用扭转波纹管本体。
  • 边缘焊接波纹管,柔性好,可补偿轴向、径向、角向安装偏差与热位移。
  • 多合金材质可选,耐等离子、耐腐蚀,疲劳寿命高,标准库存 + 非标定制均可。


  • 运用场景

    行业:半导体设备、科研仪器、航空航天、粒子加速器、真空镀膜行业
  • 半导体:刻蚀机、PVD/CVD 镀膜设备、负载锁腔体、真空传输管路,补偿腔体热变形与装配误差。
  • 科研仪器:质谱仪、电子显微镜、同步辐射束线超高真空管路。
  • 航空航天:空间模拟真空舱、航天测试设备密封补偿。
  • 其他:粒子加速器、深冷真空设备,泵‑腔体之间柔性连接。