瑞士 VAT 61.3 高真空蝶形控制阀

产品介绍

瑞士 VAT 61.3 为集成控制器式高真空蝶形控制阀，步进电机驱动，开关响应约 90‑100ms，实现下游真空压力快速精准调节。压力区间 1×10⁻⁸mbar‑1.2bar **压力，泄漏率低。可应对含颗粒物的恶劣工艺工况，支持多种通讯接口，铝 / 不锈钢阀体可选，适配 ISO‑KF、ISO‑F 法兰，广泛用于半导体精密工艺，整机寿命长、维护便捷。

产品参数

• 型号系列：VAT 61.3 高真空蝶形控制阀
• 通径范围：DN25‑DN320
• 压力范围：1×10⁻⁸ mbar ~1.2 bar（绝压）
• 阀板*大压差：≤1 bar
• 泄漏率：＜1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 开关响应时间：约 90ms
• 驱动方式：步进电机 + 集成控制器
• 阀体温度：≤150℃
• 密封材质：标准 FKM 氟橡胶
• 机械寿命：200 万次（**维护前）
• 法兰标准：ISO‑KF、ISO‑F
• 阀体材质：铝合金 / 316L 不锈钢
• 通讯接口：RS232、CC‑Link、EtherCAT 等可选

产品特点

1. 内置压力控制单元，阀板作为节流元件，自动调节开度稳定腔室压力
2. 高速步进驱动，毫秒级响应，动态压力控制精度高
3. 坚固结构，可耐受带粉尘、颗粒的恶劣工艺气流
4. 多通讯协议，支持 PLC 对接，可本地控制也可远程上位控制
5. 阀体材质、密封、法兰支持定制，兼容半导体严苛工况
6. 维护简单，直接安装，减少设备停机时间

对比优势

1. 集成一体化控制：阀门本体自带控制器，无需外接独立调压模块，减少外围配件，简化系统布线
2. 抗颗粒工况：相比普通真空蝶阀，耐工艺碎屑、粉尘，适合沉积类工艺，故障率更低
3. 响应速度快：百毫秒内完成开度调节，适配 CVD、ALD 快速脉冲工艺，压力波动小
4. 长循环寿命：200 万次维护周期，降低运维成本，设备稼动率更高
5. 通径覆盖广：从小口径到大口径齐全，大流量下依旧保持精细调节能力

运用场景

• 半导体：CVD、ALD 薄膜沉积、刻蚀设备腔体压力调节
• 光伏：PECVD 镀膜、真空溅射设备
• 科研真空设备、等离子工艺设备
• 工业镀膜、光学涂层真空系统
• 各类需要下游精密节流稳压的高真空管路