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VAT 61.6 是瑞士 VAT 蝶式高真空两用阀,兼具流量控制与管路隔离双重功能,适配高真空工况。阀体结构紧凑,蝶板响应迅速,可精准调节气体通量,同时实现可靠密闭截止。适配多种驱动方式,密封性能稳定,广泛应用真空工艺管路,兼顾调节精度与隔离密封性,是真空系统里控制‑隔离一体化的核心元件。
相比分开配置调节阀 + 隔离阀,减少管路接头,降低泄漏风险,节省安装空间;蝶式结构流导大,气体通流能力优于同口径角阀;控制响应快,调节区间宽;品牌工艺成熟,真空密封性稳定,故障率低,减少后期运维成本。
半导体真空工艺设备、镀膜真空系统、科研实验室高真空腔体、工业真空热处理设备、等离子工艺设备、真空排气管路、薄膜沉积设备。