瑞士 VAT 61.7 半导体镀膜高真空调节蝶阀

产品介绍

VAT 61.7 属于蝶式高真空控制阀，源自瑞士 VAT，多用于高真空工况，蝶板结构响应快，兼顾节流与切断功能。适配各类真空腔体，可实现精准气体流量调节与通断控制，阀体抗变形，泄漏率低，适配自动化真空系统，可搭配不同驱动执行机构，在工艺波动下维持真空稳定性，广泛应用于工业及科研真空设备。

产品参数

• 产品类型：高真空蝶形控制阀
• 型号：61.7
• 工作真空范围：高真空区间
• 驱动方式：气动驱动
• 阀体材质：不锈钢
• 密封形式：弹性密封
• 功能：切断 + 节流调节
• 安装形式：法兰安装
• 泄漏率：高真空级低漏率
• 适用介质：干燥非腐蚀性气体

产品特点

1. 蝶板式结构，开关响应速度快，可连续节流调节

2. 全不锈钢阀体，耐真空冲刷，结构紧凑节省安装空间

3. 高真空密封性能优异，极低内部及外部泄漏

4. 气动驱动，适配自动化控制，可远程信号控制阀门开度

5. 抗压差能力强，工况适应性强，维护便捷

对比优势

相比普通真空蝶阀，该款兼具关断与精密调节能力，不只是开关阀；瑞士原厂工艺，密封寿命更长，高真空下性能衰减小；体积小巧，适合设备集成；控制精度优于普通挡板阀，可稳定调控真空腔体内压力，减少工艺波动。

运用场景

半导体工艺设备、镀膜真空系统、科研实验真空腔体、真空冶金、离子束设备、工业高真空制程设备、等离子处理设备。