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瑞士 VAT 64.2 金属密封高真空隔断闸阀
产品型号:
产品简介:

VAT 64.2 系列为瑞士进口高真空闸阀,专为高真空工况设计,具备可靠的启闭与压力隔断能力,适配多种驱动方式。阀体结构紧凑,泄漏率低,能够耐受严苛真空环境,广泛应用于真空工艺设备。阀件密封性能稳定,维护便捷,是半导体、科研真空系统中常用的隔断阀,可实现管路通断控制,保障真空腔体压力稳定。

详细介绍

瑞士 VAT 64.2 金属密封高真空隔断闸阀

产品介绍

VAT 64.2 系列为瑞士进口高真空闸阀,专为高真空工况设计,具备可靠的启闭与压力隔断能力,适配多种驱动方式。阀体结构紧凑,泄漏率低,能够耐受严苛真空环境,广泛应用于真空工艺设备。阀件密封性能稳定,维护便捷,是半导体、科研真空系统中常用的隔断阀,可实现管路通断控制,保障真空腔体压力稳定。


产品参数

  • 产品型号:VAT 64.2
  • 工作真空范围:高真空
  • 阀体材质:不锈钢
  • 密封形式:金属密封
  • 驱动方式:气动 / 电动可选
  • 泄漏率:高真空级低漏率
  • 接口规格:多种法兰接口可选
  • 工作温度:‑20℃~+150℃
  • 适用介质:干燥非腐蚀性气体
  • 安装方式:任意方位安装


产品特点

1. 金属密封结构,高真空下密封性能优异

2. 阀体紧凑,占用设备空间小

3. 支持多种驱动模式,适配自动化控制

4. 耐温差变化,抗疲劳,使用寿命长

5. 可任意方位安装,维护拆装简单


对比优势

相比普通真空闸阀,该款瑞士 VAT 阀金属密封可实现更高真空等级;启闭响应稳定,故障率低;抗气体冲刷,适合连续工艺运行;法兰通用性强,替换兼容性好;相比同规格国产闸阀,漏率控制更优,适合精密工艺真空,减少腔体污染风险。


运用场景

半导体制造设备、科研实验室真空腔体、镀膜设备、离子束设备、真空冶金、分析仪器真空管路、航天模拟真空系统、等离子工艺设备。