瑞士 VAT 65.3 高真空控压摆阀

产品介绍

VAT 65.3 属于瑞士 VAT 高真空摆阀，专为真空系统压力控制工况设计，采用摆板阀结构，兼顾大流通能力与精准控压性能。适配中高真空环境，阀体结构紧凑，可实现开度连续调节，稳定调节腔体内真空度。具备**密封性能，可适配各类工艺设备，广泛应用于半导体、镀膜、科研真空设备，能够在严苛工况下长期稳定运行。

产品参数

• 产品型号：VAT 65.3
• 阀门类型：控压摆阀
• 适用真空等级：高真空
• 驱动方式：气动驱动
• 调节方式：连续开度调节
• 阀体材质：不锈钢
• 密封形式：金属密封
• 工作压力范围：高真空区间
• 接口形式：法兰连接
• 控制模式：压力闭环控制

产品特点

1. 摆板式结构，流阻低，通导能力优异

2. 金属密封设计，泄漏率低，适配高真空工况

3. 可连续调节阀板开度，实现精准真空压力控制

4. 气动驱动，响应速度快，运行稳定性强

5. 阀体抗腐蚀，结构紧凑，使用寿命长

对比优势

相比普通真空挡板阀，具备压力闭环调节能力，不只是通断开关；摆式结构通导更大，流阻更小；金属密封耐受更高工艺要求，出气率低；控压精度优于普通节流阀，可稳定维持腔体设定真空值；适配严苛工艺环境，故障率低，维护便捷。

运用场景

半导体工艺设备、真空镀膜设备、科研实验真空腔体、离子注入设备、等离子工艺设备、冶金真空处理、工业高真空工艺控制系统。