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瑞士 VAT 65.5 半导体高真空控制摆阀
产品型号:
产品简介:

VAT 65.5 属于摆式高真空控制阀,源自瑞士 VAT,专为高真空工况设计,依靠摆板摆动实现管路通断与流量调节,具备优异的真空密封性能。阀体结构紧凑,可适配各类真空系统,兼顾截断与节流控制,可应对工艺气体、洁净真空环境,广泛配套真空设备,运行稳定、漏气率低,适合中大型真空管路自动化控制需求。

详细介绍

瑞士 VAT 65.5 高真空控制摆阀


产品介绍

VAT 65.5 属于摆式高真空控制阀,源自瑞士 VAT,专为高真空工况设计,依靠摆板摆动实现管路通断与流量调节,具备优异的真空密封性能。阀体结构紧凑,可适配各类真空系统,兼顾截断与节流控制,可应对工艺气体、洁净真空环境,广泛配套真空设备,运行稳定、漏气率低,适合中大型真空管路自动化控制需求。


产品参数

  • 产品型号:VAT 65.5
  • 阀类型:高真空摆式控制阀
  • 工作真空范围:高真空区间
  • 驱动方式:气动驱动
  • 密封形式:金属密封
  • 阀体材质:不锈钢
  • 泄漏率:高真空级别低漏率
  • 控制方式:摆板角度调节,可节流 + 通断
  • 介质:洁净工艺气体、干燥空气
  • 工作模式:自动化远程控制

产品特点

1. 金属密封结构,耐高真空,极低泄漏率

2. 摆板式结构,流阻小,通流能力强

3. 支持开关、节流调节双重功能

4. 阀体紧凑,适配多规格真空管路

5. 气动驱动,响应快,适配自动化产线


对比优势


相比普通真空角阀,摆阀通径利用率更高,大流量下压降更小;金属密封优于橡胶密封,耐受更高真空,寿命更长;兼顾切断与流量调节,无需额外加装节流阀;瑞士原厂工艺,故障率低,维护周期长,适合连续生产工况。



运用场景


半导体真空工艺、镀膜溅射设备、科研实验真空腔体、工业真空热处理、真空钎焊设备、真空检漏系统、化工高真空处理设备。