瑞士 VAT 95.3 一体化高真空隔离控制阀

产品介绍

VAT 95.3 是瑞士 VAT 推出的一体化高真空控制与隔离阀组合单元，集成隔离阀与流量调节控制功能，实现真空腔体隔离、压力调节一体化，减少管路接头，降低泄漏风险。适配高真空工况，阀体结构紧凑，可精准调控真空压力，具备可靠的密封性能，广泛适配半导体、科研真空设备，简化真空系统设计，提升系统稳定性与维护便捷性。

产品参数

• 产品型号：95.3
• 产品类型：高真空控制隔离组合阀
• 工作真空范围：高真空区间
• 阀体材质：不锈钢
• 密封形式：金属密封
• 驱动方式：气动驱动
• 控制模式：压力闭环调节 + 通断隔离
• 接口规格：标准真空法兰接口
• 工作温度：常规真空设备工况温度
• 泄漏率：高真空级低漏率

产品特点

1. 隔离 + 流量控制一体化集成，一台阀体实现切断隔离与真空压力调节
2. 金属密封结构，优异低泄漏性能，满足高真空环境要求
3. 紧凑型设计，减少管路零部件，缩小真空系统占用空间
4. 气动驱动，响应速度快，支持自动化系统信号对接
5. 模块化结构，拆装维护简单，适配连续工艺运行

对比优势

• 对比分体阀组：省去多组阀门、转接接头，降低整体泄漏点，缩短装配调试周期
• 控制精度优于普通真空截止阀，可闭环调节腔体内真空度，不止简单通断
• 瑞士原厂工艺，金属密封寿命长，耐受反复开合，工艺稳定性更强
• 系统综合成本更低，减少采购多个阀件，简化真空管路布局

运用场景

半导体工艺设备、科研实验室高真空腔体、薄膜镀膜设备、离子束设备、分析仪器真空系统、特种材料真空处理设备。