瑞士 VAT 13.0 L 型闸板高真空隔离阀

产品介绍

VAT 13.0 L 型闸板高真空隔离阀为瑞士 VAT 经典真空阀产品，采用 L‑Gate 直角流道结构，主要用于高真空工况下管路腔体通断隔离。阀体结构紧凑，闸板密封可靠，适配多种驱动方式，具备**的真空密封性能，可承受高低温循环，广泛适配半导体、镀膜等真空工艺，保障真空腔室快速隔离、泄压与维护，减少腔体曝露，提升设备运行稳定性。

产品参数

• 产品型号：13.0 HV Isolation Valve with L‑Gate
• 阀门类型：L‑Gate 直角式高真空隔离阀
• 真空等级：HV 高真空
• 驱动方式：气动 / 电动可选
• 流道结构：L 型直角流道
• 密封形式：金属 / 弹性密封
• 安装形式：法兰对接安装
• 工作介质：干燥非腐蚀性真空气体
• 适用工况：高真空腔体通断隔离

产品特点

1. L‑Gate 直角流道设计，节省设备安装空间，布局灵活
2. 高可靠闸板密封，泄漏率低，维持腔体高真空环境
3. 多种驱动可选，适配自动化设备控制逻辑
4. 阀体坚固，抗温度波动，使用寿命长，维护便捷
5. 可实现腔室快速隔离，降低腔体大气曝露风险

对比优势

相比普通直通真空隔离阀，L 型直角结构更节省设备内部安装空间；闸板闭合密封性能稳定，真空保压能力优异；模块化结构，零部件易更换，降低运维成本；兼容主流真空设备控制系统，适配半导体严苛工艺，抗颗粒污染能力优于同类普通真空阀。

运用场景

半导体工艺设备、真空镀膜设备、科研实验真空腔体、离子注入设备、溅射设备、真空检测仪器，用于真空腔室隔离、管路通断、维护隔断，实现工艺腔与预处理腔真空隔离切换。