瑞士 VAT 15.0 高真空隔离闸阀

产品介绍

瑞士 VAT 15.0 系列高真空隔离闸阀，专为严苛真空工况设计，采用板阀式结构，实现管路通断隔离。适配高真空至超高真空环境，支持气动驱动，密封性能稳定可靠。阀体结构紧凑，可适配多种法兰规格，广泛用于半导体、镀膜、科研真空设备，保障真空腔体快速隔离，降低泄露风险，提升整套真空系统运行稳定性。

产品参数

• 阀体类型：高真空隔离闸阀
• 驱动方式：标准气动驱动，可选手动 / 电磁驱动
• 工作真空范围：1×10⁻⁷ ~ 1000 mbar
• 法兰规格：DN63‑DN250 ISO‑F/CF 法兰可选
• 漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 工作温度：‑20℃ ~ +150℃
• 阀体材质：不锈钢 316L
• 密封材质：FKM / Kalrez 可选
• 开关响应时间：0.3‑1.2s

产品特点

1. 板闸式密封结构，关断隔离效果**，流阻小，通流能力高

2. 全不锈钢阀体，耐工艺气体腐蚀，适配多种工艺介质

3. 模块化驱动单元，拆装维护便捷，密封件可现场更换

4. 自带位置反馈传感器，可输出阀位信号，适配自动化设备控制

5. 低颗粒产生设计，满足洁净工艺腔体使用要求

对比优势

1. 对比普通国产闸阀：漏率更低，抗颗粒污染能力强，长周期运行密封衰减小，减少维护频次

2. 对比同品牌其他闸阀：结构更薄，节省设备安装空间，适配紧凑腔体布局

3. 驱动运行平稳，冲击小，减少对真空腔体震动干扰；配件通用性强，备件采购方便

运用场景

• 半导体工艺设备真空管路隔离
• PVD/CVD 镀膜设备腔体隔断
• 科研实验室超高真空实验装置
• 真空冶金、离子注入设备
• 真空检测、检漏设备管路通断