瑞士 VAT 15.1 金属密封高真空隔离闸阀

产品介绍

VAT 15.1 属于经典高真空隔离闸阀，主打真空管路通断隔离，适配多种法兰规格，采用金属密封结构，可实现高真空至超高真空区间可靠隔离。驱动可选气动执行机构，响应速度快，漏率低，结构紧凑，具备**的抗烘烤能力，广泛应用于半导体、镀膜设备真空管路，保障腔体与管路之间可靠隔断。

产品参数

• 阀体类型：高真空隔离闸阀
• 密封形式：金属密封
• 工作真空范围：1×10⁻⁷ ~ 1000mbar
• 驱动方式：标准气动驱动
• 法兰接口：CF 标准法兰
• *高烘烤温度：200℃
• 漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 工作介质：干燥氮气、工艺气体，洁净真空环境
• 阀体材质：不锈钢

产品特点

1. 全金属密封，耐烘烤，出气率低，适配高真空工况
2. 气动驱动，开关动作稳定，可配位置反馈信号
3. 紧凑型阀体设计，节省真空设备安装空间
4. 阀板导向结构，降低开关磨损，延长使用寿命
5. 支持垂直、水平多方位安装

对比优势

1. 对比国产闸阀：漏控表现更优，烘烤耐受度高，长期运行密封性能衰减小，适合半导体严苛工艺。
2. 对比同品牌其他系列：15.1 系列性价比突出，维护配件通用性强，供货备件成熟。
3. 动作冲击小，对腔体振动干扰低，对精密镀膜、检测设备友好。

运用场景

• 半导体设备真空管路隔离
• PVD/CVD 镀膜设备腔体隔断
• 科研实验室真空系统
• 真空检测、真空热处理设备
• 电子束、离子束设备真空回路