瑞士 VAT 15.2 超高真空隔离闸阀

产品介绍

VAT 15.2 属于超高真空隔离闸阀，专为严苛 UHV 真空工况设计，实现管路通断隔离，采用金属密封结构，泄漏率极低。支持多种驱动方式，阀体结构紧凑，抗烘烤，适配半导体、科研真空腔体，具备**的重复密封性能，可在频繁开关工况下稳定运行，是超高真空系统管路隔离的核心关键部件。

产品参数

• 公称通径：DN16‑DN100
• 真空等级：超高真空 UHV
• 密封形式：金属刀口密封
• 极限压力：1×10⁻¹⁰ mbar
• 允许烘烤温度：*高 200℃
• 驱动方式：气动、电动可选
• 泄漏率：≤1×10⁻¹¹ mbar・L/s
• 法兰标准：CF 法兰
• 工作温度：‑20℃~+80℃

产品特点

1. 全金属刀口密封，无橡胶材质，适配超高真空烘烤工况
2. 阀体紧凑扁平设计，节省真空系统安装空间
3. 驱动机构稳定，开关动作平稳，抗振动
4. 可耐受高温烘烤，减少腔体放气
5. 位置反馈信号输出，便于自动化集成控制

对比优势

1. 金属密封对比橡胶密封，可承受高温烘烤，不会出现橡胶老化放气问题，UHV 环境适用性更强
2. 闸阀流导大，管路通流阻力小，抽气效率高
3. 相比同类国产闸阀，重复密封寿命更长，漏率一致性好
4. 适配标准 CF 法兰，替换、改造现有真空设备便捷
5. 多种驱动可选，兼容半导体设备、科研设备自动化控制需求

运用场景

• 半导体设备：离子注入、薄膜沉积、刻蚀设备真空管路隔离
• 科研实验室：同步辐射装置、电子显微镜、表面分析仪器
• 真空镀膜、粒子加速器超高真空管路通断隔离
• 冶金真空、航天部件测试 UHV 腔体隔离