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VAT 16.8 为大型高压摆式隔离阀,专为高压、大口径真空腔体工况设计,摆板式结构实现快速通断隔离,适配工艺腔体与真空管路之间的截断保护。支持多种驱动方式,阀体密封性能稳定,抗压差能力强,适用于严苛工业真空环境,保障设备腔体**隔离,降低工艺气体泄漏风险。
1. 摆板结构,大口径通流,流阻小,适合大型腔体快速隔离
2. 金属密封设计,耐高压差,抗冲击,密封可靠性高
3. 阀体整体不锈钢材质,耐腐蚀性工艺气体
4. 支持多种驱动,可搭配位置反馈,便于自动化集成
5. 结构坚固,维护点少,适合连续长时间运行工况
半导体设备腔体隔离、大型镀膜设备、冶金真空处理设备、光伏真空工艺腔体、科研大型真空舱、工业高压真空管路截断、特种气体真空系统。