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VAT 19.1 属于大口径高真空闸阀,专为大流量真空管路设计,适配大型真空腔体通断控制。采用金属密封结构,可实现高真空状态下可靠隔离,驱动方式可选气动 / 电动,阀体结构坚固耐用,抗压差能力强,具备**的密封稳定性,广泛用于工业大型真空系统,保障设备腔体可靠隔断与工艺**。
相比普通国产大型真空闸阀,VAT19.1 密封一致性更好,长时间循环使用泄漏率漂移小;大口径工况下动作平稳不易卡滞;适配严苛工艺环境,耐烘烤,兼容腐蚀性工艺气体;自动化适配性高,降低大型真空系统故障概率。
半导体大型工艺腔体、镀膜产线、科研大型真空装置、冶金真空处理设备、航天真空模拟舱、光伏真空设备、大型真空烧结炉管路隔断、高能物理实验真空系统。