瑞士 VAT 19.2 超高真空大型闸阀

产品介绍

VAT 19.2 属于大口径超高真空闸阀，专为大腔体真空系统通断隔离设计，支持气动驱动，可实现高可靠密封，适配严苛 UHV 工况。阀体采用高性能金属密封结构，泄漏率极低，具备长使用寿命与稳定重复启闭性能，广泛用于半导体、镀膜、科研真空设备，满足大型真空腔体快速隔离需求。

产品参数

• 阀体型号：VAT 19.2
• 真空等级：超高真空 UHV
• 驱动方式：气动驱动
• 密封形式：金属密封
• 公称通径：大口径规格可选
• 漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 阀体材质：不锈钢
• 工作温度：‑20℃～+150℃
• 控制信号：可选位置反馈信号
• 安装方式：法兰安装

产品特点

1. 金属密封结构，实现超高真空级别密封性能，耐烘烤
2. 大口径通流，流导大，适合大型真空腔体管路
3. 气动驱动，启闭速度平稳，带位置反馈，便于自动化集成
4. 阀体全不锈钢材质，抗腐蚀，可承受高温烘烤除气
5. 结构坚固，抗振动，适合连续工业工况使用

对比优势

1. 对比普通橡胶密封闸阀：可烘烤、无有机物析出，满足 UHV 超高真空要求
2. 相比同规格其他品牌：启闭一致性好，维护周期长，故障率低
3. 大口径下依然保持极低漏率，流导性能优于同类闸阀
4. 标准化接口，可直接适配主流大型真空腔体，改造替换便捷

运用场景

• 半导体工艺大型真空腔体隔离
• 光学、PVD/CVD 大型镀膜设备
• 科研院所高能物理、大型实验真空装置
• 真空冶金、大腔体真空热处理设备
• 同步辐射、粒子加速器真空管路