瑞士 VAT 20.3 VATTERFLY 高真空蝶阀

产品介绍

瑞士 VAT 20.3 属于 VATTERFLY 系列高真空蝶阀，集成调节与截断功能，适配中高真空管路系统。阀体结构紧凑，驱动可选气动 / 电动，可实现流量连续调节，密封性能稳定。广泛适配半导体、镀膜、真空工艺设备，具备优异的抗杂质、低漏气率表现，兼顾通导能力与控制精度，是真空产线常用的管路控制阀门。

产品参数

• 产品系列：VAT 20.3 VATTERFLY
• 阀体类型：高真空蝶阀
• 公称通径：DN25‑DN250
• 压力范围：1×10⁻⁷ mbar ~ 1 bar
• 驱动方式：气动、电动伺服驱动可选
• 漏率：≤1×10⁻⁷ mbar・L/s
• 工作温度：‑20℃～+150℃
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：FKM 金属密封可选
• 控制信号：0‑10V / 4‑20mA 调节信号

产品特点

1. 阀体薄型紧凑设计，占用安装空间小，管路布局灵活
2. 伺服驱动版本可实现高精度开度连续调节，兼顾关断隔离
3. 不锈钢阀体，耐工艺气体腐蚀，适配多数真空工艺环境
4. 可选弹性密封 / 金属密封，满足不同真空等级需求
5. 带位置反馈，便于设备 PLC 系统监控阀门状态
6. 维护简单，拆装便捷，减少产线停机时间

对比优势

1. 相比普通国产蝶阀：漏率更低、调节线性度好，长期运行密封衰减小，适配**真空工艺
2. 对比同规格角阀：通导效率更高，厚度更小，适合空间受限管路
3. 调节 + 切断二合一，无需搭配多路阀组，降低整套设备配件成本
4. 驱动组件成熟可靠，故障率低，半导体及工业真空现场装机量大

运用场景

• 半导体工艺设备真空管路调压、气路节流控制
• PVD、CVD 镀膜设备真空流量调节
• 科研实验室高真空实验平台
• 真空热处理、真空烧结设备管路控制
• 锂电池、新材料真空处理设备