瑞士 VAT 24.5 高真空内联阀

产品介绍

VAT 24.5 为直通式内联真空阀，采用直线流道结构，专为高真空管路通断控制设计，支持气动驱动，流阻小、通流能力优异。阀体密封性能稳定，适配多种真空工艺环境，结构紧凑便于管路集成，广泛用于半导体、镀膜设备真空回路，可应对频繁启闭工况，保障真空系统腔体压力稳定可控。

产品参数

• 阀体类型：内联直通真空阀
• 驱动方式：气动驱动
• 适用真空等级：高真空
• 接口规格：DN16‑DN100 可选
• 泄漏率：≤1×10⁻⁷ Pa・m³/s
• 工作温度：‑20℃～+120℃
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：FKM
• 控制信号：开关信号

产品特点

1. 直通内联流道，流阻低，大抽速通过性能好
2. 全不锈钢阀体，耐工艺气体腐蚀，洁净度高
3. 气动执行机构，响应速度快，支持高频开关
4. 紧凑型结构，管路直线安装，节省设备空间
5. 可选位置反馈，便于系统自动化联锁控制

对比优势

1. 对比角阀：直通流道压降远更低，不损失管路抽速
2. 国产同类阀件：密封寿命更长，漏率控制更严苛，适配半导体高洁净要求
3. 维护便捷，密封组件可现场更换，降低停机维护时长
4. 兼容性强，可匹配主流真空计、PLC 自动化控制系统

运用场景

• 半导体设备真空管路通断控制
• PVD、CVD 镀膜设备真空回路
• 科研实验高真空腔体管路
• 工业真空热处理设备管路系统
• 真空检测、真空检漏设备