瑞士 VAT 25.0 全真空内联阀

产品介绍

VAT 25.0 属于直通式全真空内联阀，采用直线通径结构，专为高真空、超高真空管路通断控制开发。阀体紧凑流阻小，适配多种驱动方式，密封性能稳定可靠。适用于严苛半导体、镀膜真空管路，可应对频繁启闭工况，保障真空腔体压力稳定，是真空管路系统核心通断元器件。

产品参数

• 阀体类型：全真空内联直通阀
• 通径规格：DN16‑DN100
• 工作真空范围：1×10⁻⁹ Pa ~ 常压
• 驱动形式：气动、电动可选
• 密封形式：金属密封 / 弹性密封可选
• 阀体材质：不锈钢 316L
• 法兰标准：CF、KF 标准真空法兰
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 漏率：金属密封≤1×10⁻¹0 Pa・m³/s

产品特点

• 直通内联结构，流道通畅，气流阻力低
• 阀体全不锈钢材质，耐腐蚀、可烘烤除气
• 多重密封方案可选，适配高 / 超高真空工况
• 结构紧凑，管路直装，节省设备安装空间
• 启闭响应快，具备位置反馈信号输出

对比优势

1. 对比普通角阀，直通流道流阻更小，管路抽气效率更高
2. VAT 原厂密封组件，长期循环使用，泄漏率稳定性优于国产同类阀
3. 支持高温烘烤，满足 UHV 超高真空系统除气需求
4. 模块化驱动，可现场更换执行机构，维护便捷
5. 抗震抗冲击，适合设备集成、车载真空装置使用

运用场景

• 半导体工艺设备真空管路通断
• PVD、CVD 镀膜设备真空管路
• 科研实验室超高真空系统
• 真空检测、质谱仪器设备
• 锂电、新材料真空工艺管路