瑞士 VAT 25.1 内联型高真空钢瓶阀

产品介绍

VAT 25.1 为内联式高真空钢瓶阀，专为气瓶、气体管路真空工况设计，适配高纯气体、腐蚀性气体介质。阀体结构紧凑，采用金属密封实现高真空隔绝，可实现手动 / 气动驱动切换，泄漏率极低。广泛用于半导体、科研真空管路，保障气源端可靠通断，降低气体污染风险，适配钢瓶直连、管路串联安装需求。

产品参数

• 产品型号：VAT 25.1
• 阀门类型：内联型高真空钢瓶阀
• 密封形式：金属密封
• 驱动方式：手动 / 气动可选
• 压力范围：大气压至高真空
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 适配介质：高纯气体、惰性气体、部分腐蚀性气体
• 连接方式：管路内联接口，钢瓶适配接口
• 工作温度：‑20℃～+120℃

产品特点

1. 内联式紧凑结构，可直接串联钢瓶出气管路，节省安装空间
2. 全金属密封设计，无有机密封件析出，适配高纯气体环境
3. 低漏率，阻断气源侧杂质反向返流进入真空腔体
4. 支持手动、气动两种驱动模式，适配现场手动操作与自动化产线
5. 阀体抗气体腐蚀，稳定性强，维护周期长

对比优势

1. 对比普通橡胶密封钢瓶阀：金属密封无挥发污染，满足半导体高纯工艺要求
2. 相比普通外置截止阀：内联结构管路死体积更小，气体置换效率更高
3. VAT 原厂精密加工，开关重复性好，长时间工况下漏率不易漂移
4. 安装适配性强，钢瓶与真空管路之间直接对接，减少转接接头，降低泄露隐患

运用场景

1. 半导体工艺气源钢瓶供气回路
2. 实验室真空系统气瓶供气单元
3. 镀膜设备、刻蚀设备高纯气体供给管路
4. 科研仪器、分析仪器钢瓶气源切断保护
5. 特种气体、惰性气体真空输送管路通断控制