瑞士 VAT 62.7 真空气体计量阀

产品介绍

VAT 62.7 属于高精度气体计量角阀，专为真空工艺气体精准流量调节开发，集成定位反馈控制，适配中高真空工况。阀体抗腐蚀、泄漏率低，可搭配电控执行器实现闭环流量调节，广泛用于半导体、镀膜等工艺，具备稳定重复调节性能，保障真空腔体供气一致性。

产品参数

• 阀体类型：角式气体计量阀
• 工作真空范围：1×10⁻⁷ ~ 1bar
• 驱动方式：电动执行器
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 公称通径：DN16‑DN50
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 控制精度：±0.5% FS
• 接口形式：KF/ISO 法兰
• 信号接口：4‑20mA / 0‑10V

产品特点

• 闭环定位控制，气体计量调节精度高，重复性好
• 金属密封结构，极低漏率，兼容特种、腐蚀性工艺气体
• 角阀紧凑结构，节省真空系统安装空间
• 执行器响应速度快，可实现连续无级流量调节
• 状态反馈输出，便于接入设备 PLC 实现自动化管控

对比优势

1. 对比普通手动调节阀：支持自动化闭环控制，计量精度远高于手动阀，适合量产工艺
2. 相比国产计量阀：漏率指标更优，长期工况下稳定性强，漂移小，维护周期更长
3. 同品类进口阀：VAT 阀体抗介质腐蚀，适配半导体特种气体，兼容多法兰标准，选型配套更便捷

运用场景

• 半导体设备工艺气体配比、流量精密控制
• PVD/CVD 镀膜设备供气调节
• 科研超高真空实验平台气体计量
• 真空烧结、等离子工艺气体流量调控
• 锂电池、新材料真空工艺供气系统