瑞士 VAT 62.8 高精度气体计量阀

产品介绍

VAT 62.8 属于高精度高真空气体计量阀，专为真空工艺的精准气体流量调节开发，集成阀位反馈与闭环控制，可实现微小气体流量稳定管控。阀体耐腐蚀性优异，泄漏率低，适配多种工艺气体，广泛用于半导体、镀膜、科研真空设备，保障真空腔体内气压与进气量的重复性与工艺稳定性。

产品参数

• 阀体材质：不锈钢 316L
• 工作真空范围：1×10⁻⁹ mbar ~ 1000 mbar
• 驱动方式：气动驱动，带位置传感器
• 接口规格：KF/CF 法兰可选
• 泄漏率：<1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 控制信号：0‑10V / 4‑20mA 闭环调节
• 适用介质：惰性气体、部分腐蚀性工艺气体
• 工作温度：‑20℃ ~ +80℃

产品特点

1. 闭环阀位反馈，气体计量调节精度高，重复性好
2. 全金属密封结构，极低漏率，满足高真空、超高真空工况
3. 气动执行机构，响应速度快，抗工艺气体腐蚀
4. 可实现从微流量到大流量区间连续调节
5. 结构紧凑，便于集成到真空腔体管路系统

对比优势

1. 对比普通针阀：具备电气闭环控制，可接入 PLC 自动工艺，不依赖人工手动调节
2. 对比国产计量阀：阀位控制线性度更佳，长期工况漂移小，工艺一致性更高
3. 全金属密封，可适配特种腐蚀气体，使用寿命长，维护频次低
4. 真空兼容性强，既可做流量计量，也可兼顾隔离截止功能

运用场景

• 半导体镀膜、PVD/CVD 工艺进气流量控制
• 科研实验室真空设备气体配比调节
• 光学涂层、等离子刻蚀设备工艺气供给
• 真空烧结、气相沉积设备气体流量管控
• 航天零部件真空测试腔体进气控制