瑞士 VAT 75.0 超高真空快关阀

产品介绍

VAT 75.0 属于超高真空快关阀，专为突发工况下快速切断真空管路设计，具备极短关闭响应时间，适配超高真空系统。阀体金属密封，可承受高低温循环，驱动稳定可靠，泄漏率极低。广泛用于半导体、镀膜设备、科研真空装置，可实现故障状态快速保护管路与腔体，保障整套真空设备运行**。

产品参数

• 公称通径：DN25‑DN100
• 真空等级：UHV 超高真空
• 密封形式：金属刀口密封
• 驱动方式：气动快关驱动
• 关闭响应时间：≤50ms
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 法兰标准：CF 法兰
• 工作温度：‑20℃～+150℃
• 阀体材质：不锈钢
• 控制信号：可选开关 / 传感器反馈

产品特点

1. 毫秒级快速切断，实现紧急工况快速防护

2. 全金属密封，满足超高真空工况，无橡胶放气污染

3. 配置位置反馈传感器，实时反馈阀门开闭状态

4. 抗温度循环，耐工艺气体腐蚀，阀体放气率低

5. 结构紧凑，CF 标准法兰，方便集成真空腔体管路

对比优势

1. 对比普通真空角阀：关闭速度远快于常规阀，具备紧急保护能力，适合需要**联锁的工艺系统

2. 金属密封，优于橡胶密封阀门，可适配烘烤除气工艺，出气量小

3.VAT 原装驱动组件，动作重复精度高，使用寿命长，维护频次低

4. 标准化 CF 接口，和主流进口真空设备兼容性强，替换安装便捷

运用场景

• 半导体沉积、刻蚀设备真空管路紧急切断
• 科研超高真空实验装置**防护
• PVD、离子镀膜设备腔体保护
• 加速器、表面分析仪器真空系统
• 工业特种真空工艺联锁保护