瑞士 VAT 75.2 超高真空快关角阀

产品介绍

VAT 75.2 属于弹簧复位式超高真空快关阀，主打紧急工况快速切断，适配半导体、镀膜设备真空管路。具备极短关闭响应时间，密封性能优异，兼容多种驱动方式，可应对突发工艺异常保护腔体。阀体材质耐腐蚀、出气率低，满足 UHV 超高真空工况，广泛用于工艺设备**联锁防护。

产品参数

• 阀体类型：超高真空快关角阀
• 公称通径：DN16‑DN100
• 真空等级：UHV 超高真空
• 关闭响应时间：≤200ms（弹簧紧急复位）
• 驱动方式：气动弹簧复位
• 密封形式：金属密封
• 阀体材质：不锈钢
• 泄露率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 适用温度：‑20℃~+150℃
• 接口标准：CF 法兰

产品特点

• 弹簧蓄能紧急快关，故障失气自动闭合，设备**联锁防护
• 全金属密封，极低出气率，满足超高真空环境
• 阀体抗等离子、耐工艺气体腐蚀，使用寿命长
• 结构紧凑，可实现垂直、水平多方位安装
• 自带位置反馈信号，可接入设备 PLC 控制系统

对比优势

1. 对比普通真空角阀：毫秒级紧急切断，具备故障**保护功能，不只是通断，可做**防护阀
2. 金属密封优于橡胶密封，无橡胶释气，适合超高真空，耐高温工艺
3. 动作稳定，冲击小，减少管路振动，降低腔体压力波动
4. 信号反馈完整，便于自动化产线集成，适配半导体严苛工艺要求

运用场景

• 半导体刻蚀、沉积设备真空管路紧急切断保护
• PVD、CVD 镀膜设备腔体**联锁
• 科研实验室超高真空系统应急关断
• 离子束设备、表面处理工艺设备
• 特种气体真空管路**防护