瑞士 VAT 77.1 超高真空快关挡板阀

产品介绍

VAT 77.1 属于超高真空快关挡板阀，专为严苛 UHV 工况设计，具备快速切断功能，阀板挡板式结构，驱动响应迅速，可实现故障**紧急关断。阀体选用高析出材质，内部可烘烤除气，漏率极低，适配各类科研与半导体真空管路，提供气动驱动版本，保障真空系统突发状况下快速隔离保护腔体。

产品参数

• 公称通径：DN16‑DN100
• 压力范围：大气压～1×10⁻¹⁰ Pa（超高真空 UHV）
• 驱动方式：气动驱动，弹簧故障**关闭
• 烘烤温度：阀体*高 200℃可烘烤
• 泄漏率：阀座漏率＜1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 法兰标准：CF 超高真空法兰
• 开关响应时间：≤150ms 快速关闭
• 工作介质：干燥空气、惰性气体，无颗粒介质

产品特点

1. 快关挡板式结构，弹簧复位故障**，断电断气自动关闭，保护真空腔体
2. UHV 级全金属密封可选，支持高温烘烤除气，放气率低
3. 气动执行机构，动作迅速，抗冲击，循环使用寿命长
4. CF 法兰接口，适配主流超高真空管路系统
5. 可配置位置反馈传感器，远程获取阀门开闭状态信号

对比优势

1. 对比普通挡板阀：拥有毫秒级快关能力，具备**保护功能，适合需要紧急切断的工况
2. 国产同类阀：更低漏率、烘烤稳定性好，长期运行密封性能衰减小，维护周期更长
3. 同品牌其他系列：结构紧凑，占用安装空间更小，适配腔体侧装、管路安装多种布局

运用场景

• 半导体设备：离子注入、刻蚀设备腔体紧急隔离保护
• 科研真空设备：同步辐射、高能物理实验超高真空管路
• 镀膜行业：PVD、电子束蒸发设备**切断防护
• 分析仪器：电子显微镜、表面分析仪器真空系统
• 航天真空模拟试验装置