瑞士 VAT 77.3 超高真空快关挡板阀

产品介绍

VAT 77.3 属于超高真空快关挡板阀，为工业真空系统设计，具备极速切断功能，适配严苛 UHV 工况。采用金属密封结构，漏率极低，驱动响应迅速，可实现故障状态快速切断气路，保护腔体与后端设备。可选气动驱动，兼容多种法兰规格，广泛用于半导体、镀膜、科研实验真空管路，可靠性高，维护周期长。

产品参数

• 阀门类型：超高真空快关挡板阀
• 密封形式：金属密封
• 工作真空度：1×10⁻¹⁰ Pa（UHV 超高真空）
• 驱动方式：气动驱动
• 关闭响应时间：≤150ms
• 可选法兰：CF 标准法兰
• 阀体材质：不锈钢
• 允许烘烤温度：*高 200℃
• 泄漏率：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s
• 工作温度：‑20℃ ~ +80℃

产品特点

1. 极速快关动作，突发工况下快速切断管路，保护真空腔体
2. 全金属密封，支持高温烘烤，满足超高真空环境需求
3. 阀体不锈钢材质，耐腐蚀、出气率低
4. 模块化驱动单元，拆装便捷，支持现场维护
5. 带位置反馈信号，可接入设备 PLC 实现自动化联锁控制

对比优势

1. 相比普通挡板阀，关断速度大幅提升，应急防护能力更强
2. 金属密封优于橡胶密封，可烘烤，无有机物析出，适配半导体洁净工艺
3. 联锁信号输出，便于集成整套真空自动化产线
4. VAT 原厂加工精度高，长期运行漏率稳定，故障率低于国产同类快关阀
5. 结构紧凑，管路布局占用空间更小

 

运用场景

• 半导体设备真空管路应急切断保护
• 电子束、离子束科研实验超高真空系统
• PVD、CVD 镀膜设备气路**隔断
• 加速器、表面分析仪器真空腔体防护
• **冶金、材料实验超高真空成套设备