瑞士 VAT 79.0 超高真空束流阻挡器

产品介绍

VAT 79.0 为超高真空工况专用束流阻挡器，主要用于真空管路内阻断粒子束流、辐射与残余气体，适配各类 UHV 超高真空系统。采用金属密封结构，兼容多种驱动方式，可实现快速启闭，降低粒子散射污染，保障腔体内部洁净度，广泛配套半导体、表面分析、镀膜设备，具备优异的真空密封与耐粒子轰击性能。

产品参数

• 产品型号：VAT 79.0
• 适用真空等级：超高真空 UHV
• 密封形式：金属刀口密封
• 驱动方式：气动 / 电动可选
• 标准法兰：CF 法兰接口
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 挡板材质：耐粒子轰击特种合金
• 安装方式：管路法兰直接安装

产品特点

• 全金属密封，实现稳定超高真空，无有机材料释气污染
• 挡板抗粒子轰击，抑制束流散射，保护下游腔体组件
• 启闭响应速度快，定位精度高，重复动作可靠性高
• 结构紧凑，法兰标准化，设备集成安装便捷
• 低释气设计，满足高洁净真空腔体使用要求

对比优势

1. 相比普通挡板组件，金属密封漏率更低，适配 UHV 超高真空，普通橡胶密封无法达到该真空等级
2. 挡板耐粒子冲击，不易变形损耗，减少腔体污染维护频次
3. 驱动控制成熟，可接入设备 PLC 自动化控制，适配产线自动化流程
4. 标准化法兰接口，替换安装简单，减少改造成本

运用场景

• 半导体科研设备束流管路隔断
• 电子束、离子束实验装置
• 溅射镀膜、分子束外延 MBE 设备
• 同步辐射、表面分析仪器真空系统
• 科研实验室超高真空管路防护