瑞士 VAT MONOVAT 02.7 真空卷轴传输阀

产品介绍

VAT 02.7 MONOVAT 卷轴式传输阀为真空腔体之间物料传送专用阀门，采用卷轴密封结构，实现无颗粒、低污染的真空隔离传输。适配半导体、显示面板制程，可在高真空环境完成腔室隔断与基板输送，结构紧凑，启闭速度快，大幅降低颗粒产生，保障制程洁净度，支持自动化系统对接，是真空流水线关键隔离部件。

产品参数

• 产品型号：02.7 MONOVAT
• 阀门类型：卷轴式真空传输阀
• 工作真空：高真空 1×10⁻⁷ Pa
• 驱动方式：气动驱动
• 通口尺寸：可适配晶圆 / 基板多规格开口
• 密封形式：金属卷轴密封
• 工作温度：‑20℃~+120℃
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 启闭循环寿命：百万次级别
• 控制信号：兼容工业自动化信号

产品特点

• 卷轴金属密封结构，启闭几乎无摩擦，颗粒产生极低
• 薄型紧凑阀体，节省真空设备安装空间
• 气动驱动，响应速度快，适合流水线连续作业
• 高密封性，可实现腔室之间可靠真空隔离
• 支持远程自动化控制，适配整套真空产线集成

对比优势

1. 对比插板阀：无插板摩擦碎屑，洁净等级更高，更适合半导体工艺
2. 普通闸阀：阀体厚度更小，设备整体布局更灵活
3. 长循环寿命，维护周期长，降低产线停机维护成本
4. 真空隔离稳定，避免腔室之间工艺气体交叉污染
5. MONOVAT 一体化设计，集成度高，减少外部零部件装配

运用场景

• 半导体晶圆加工设备腔室传输隔断
• OLED、LCD 显示面板真空制程流水线
• 镀膜设备多腔体之间物料传递隔离
• 科研真空设备样品自动化传送系统
• 光伏薄膜设备真空工位切换隔离