瑞士 VAT 04.2 L‑VAT 高真空传输阀

产品介绍

VAT 04.2 L‑VAT 属于高真空传输阀，专为真空腔体物料传递工况设计，集成 L 型阀体结构，实现腔室之间样品、基片的真空隔离与传输。支持气动驱动，漏率低、动作响应快，适配高真空环境，阀体材质抗腐蚀，可匹配半导体、镀膜设备的真空联锁控制，保障真空系统不被破坏，是真空流水线物料转接核心部件。

 

产品参数

• 阀体形式：L 型传输阀 L‑VAT
• 公称通径：DN16‑DN63
• 真空等级：高真空
• 驱动方式：气动驱动
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：氟橡胶 / 金属密封可选
• 工作温度：‑20℃~+120℃
• 控制信号：开关信号，可配位置反馈
• 法兰标准：CF/KF 真空法兰

产品特点

1. L 型紧凑阀体，节省设备内部安装空间，适配腔体对接传输通道
2. 双位置位置反馈，可接入设备 PLC 实现联锁**控制
3. 密封性能稳定，开关过程对腔体真空扰动小
4. 气动驱动，动作速度快，故障率低，适合频繁启闭
5. 不锈钢阀体，耐工艺气体腐蚀，维护拆装便捷

对比优势

1. 对比普通角阀蝶阀：具备物料通道，可直接完成真空腔之间工件传输，不破坏腔室真空，普通阀门仅做通断隔离
2. 相比国产传输阀：漏率指标更优，长期频繁启闭密封寿命更长，信号反馈可靠性高
3. L 型结构比直通式传输阀布局更灵活，适配设备狭小空间集成
4. 标准化法兰接口，替换与改造现有真空设备方便

运用场景

• 半导体设备真空腔体物料传递
• PVD/CVD 镀膜机基片真空传输工位
• 科研真空设备样品转送
• 真空热处理流水线工件转运
• 溅射设备、电子束设备多腔室隔离传输