瑞士 VAT 04.3 L‑MOTION高真空传输阀

产品介绍

VAT 04.3 搭配 L‑MOTION 驱动属于紧凑型高真空传输阀，专为真空腔体物料传递设计，集成 L‑MOTION 直线运动驱动单元，实现平稳启闭与位置可控。具备低粒子析出、高密封可靠性，适配高真空工况，可兼容自动化产线对接，广泛用于半导体、镀膜设备腔体间物料转运，保障真空环境不被破坏。

产品参数

• 阀体口径：DN16‑DN50
• 真空等级：高真空 HV，极限压力 1×10⁻⁷ Pa
• 驱动方式：L‑MOTION 直线电动驱动
• 密封形式：金属密封 / 氟橡胶密封可选
• 工作温度：‑20℃～+120℃
• 重复定位精度：±0.1mm
• 通讯接口：Profinet / EtherCAT
• 阀体材质：不锈钢 316L
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

产品特点

1. L‑MOTION 直线驱动，运动顺滑，冲击小，粒子产生少
2. 紧凑型结构，占用设备安装空间小，便于集成
3. 支持全自动化信号交互，可接入上位机控制系统
4. 多重位置反馈，可监控阀门开闭状态，故障可诊断
5. 阀体抗腐蚀，腔体出气率低，满足严苛真空工艺
6. 维护便捷，密封件可快速更换

对比优势

1. 对比气缸驱动传输阀：L‑MOTION 电动驱动，无气源管路，控制精度更高，动作速度可调
2. 同类进口传输阀：体积更小，适配狭小腔体布局，通讯协议丰富，对接国产设备兼容性好
3. 相比普通挡板阀：专为物料传输优化，运动逻辑适配真空腔室传片，减少工艺污染风险
4. 故障率低，长时间连续产线运行稳定性强，降低停机维护频次

运用场景

1. 半导体设备：晶圆腔室之间真空物料传递
2. PVD/CVD 镀膜设备，腔体工件真空传输
3. 科研真空设备、表面处理实验平台
4. 光学镀膜、等离子工艺设备腔体隔离传输
5. 锂电、新材料真空处理自动化产线