瑞士 VAT 05.2 高真空传输插件 L‑VAT

产品介绍

VAT 05.2 高真空传输插件搭配 L‑VAT 锁紧组件，是真空腔体快速插拔式传输模块，用于真空腔内部工件、基片的快速转运，实现大气与真空之间无泄漏快速切换。模块集成导向、密封、锁紧结构，适配半导体、镀膜设备真空传输工位，具备高密封性、重复定位精度高，可兼容自动化机械手联动，降低腔体暴露风险，保障真空系统稳定性。

产品参数

• 产品型号：VAT 05.2 传输插件 + L‑VAT 锁紧单元
• 适用真空等级：高真空 HV
• 法兰接口：标准 CF 法兰接口
• 重复定位精度：±0.1mm
• 密封材质：金属铜密封
• 驱动形式：气动锁紧（L‑VAT 组件）
• 工作温度：‑20～150℃
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 插拔循环寿命：≥10000 次
• 安装方式：腔体侧装 / 直通式安装

产品特点

1. L‑VAT 快速锁紧结构，插拔操作简便，拆装无需拆解整套腔体
2. 金属密封设计，高真空密封性能稳定，耐烘烤
3. 高重复定位精度，适配自动化传输作业
4. 模块化插件式结构，维护更换便捷，减少设备停机时间
5. 可兼容机械手、基片托架，适配晶圆、工件转运工况

对比优势

1. 对比传统真空插板机构：拆装效率大幅提升，减少腔体泄压‑复抽频次，节约抽真空时间
2. L‑VAT 锁紧组件锁止力度均匀，避免人工锁紧力矩不一致造成漏率超标
3. 金属密封优于橡胶密封，耐高温烘烤，无有机析出，不污染工艺腔体
4. 一体化插件设计，备件更换简单，降低后期维护成本
5. 瑞士原厂加工，一致性好，适合连续 24 小时工业设备运行

运用场景

1. 半导体设备：晶圆真空传输工位、工艺腔快速装卸基片
2. PVD/CVD 镀膜设备：样品、靶材真空快速更换
3. 科研真空腔体：试样快速导入导出
4. 真空热处理设备：工件真空传输接驳工位
5. 各类高真空实验设备，样品快速插拔传输工位