瑞士 VAT 05.3 高真空传输阀插件 L‑MOTION

产品介绍

VAT 05.3 搭配 L‑MOTION 驱动为模块化高真空传输阀插件单元，集成阀本体与线性运动执行机构，适配真空腔体快速插拔式安装，实现真空腔室之间工件传输通断控制。具备高密封性能、低粒子析出，L‑MOTION 驱动可实现精准可控线性运动，响应速度快，维护便捷，多用于半导体、面板设备真空传输管路。

产品参数

• 产品型号：VAT 05.3（L‑MOTION 驱动型）
• 真空等级：高真空 HV
• 驱动形式：L‑MOTION 线性运动驱动
• 安装方式：插件式模块化插拔安装
• 密封形式：金属密封
• 操作温度：‑20℃～+120℃
• 动作模式：线性启闭
• 接口规格：兼容标准真空法兰接口
• 泄露率：≤1×10‑9 mbar・L/s
• 控制方式：电气信号控制

产品特点

1. 插件模块化结构，支持快速拆装更换，减少设备停机维护时间
2. L‑MOTION 线性驱动，运动平稳，冲击小，降低腔内颗粒产生
3. 金属密封设计，耐烘烤，高真空密封性稳定
4. 结构紧凑，节省真空设备内部安装空间
5. 电气可控启闭，可接入设备 PLC 系统实现自动化联动

对比优势

• 对比普通外置驱动传输阀：插件一体化，无需单独装配驱动单元，整机集成度更高
• L‑MOTION 线性运动，相比气缸驱动，运动位置可控，冲击震动更低，适合晶圆等精密工件环境
• 金属密封优于橡胶密封，耐高温烘烤，适合半导体工艺严苛工况
• 模块化备件替换，不用拆解整套腔体，大幅降低运维成本

运用场景

• 半导体设备真空腔室工件传输通道
• 平板显示镀膜真空设备
• 科研高真空实验设备腔体隔断传输
• 真空镀膜、离子注入设备内部通断控制
• 工业真空自动化流水线腔体隔离